[发明专利]内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器及制作方法

权利要求书

1.一种内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器，其特征在于，该传感器包含：单模光纤(1)、石英毛细管(2)和反射光纤(3)；

所述石英毛细管(2)的两端分别与所述单模光纤(1)的一端和所述反射光纤(3)的一端通过熔接的方式连接，石英毛细管(2)的中空部分作为内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器的干涉腔(4)；

所述石英毛细管(2)的内径d_c ≤ 100 μm。

2.根据权利要求1所述的内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器，其特征在于：所述石英毛细管(2)的外径D_c ≤ 所述单模光纤(1)的外径D_f。

3.根据权利要求1或2所述的内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器，其特征在于：所述反射光纤(3)为单模光纤或多模光纤。

4.根据权利要求1或2所述的内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器，其特征在于：所述单模光纤(1)、石英毛细管(2)和反射光纤(3)外面涂覆有保护膜(10)。

5.一种内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器的制作方法，其特征在于，包含以下步骤：

1) 分别将单模光纤(1)、石英毛细管(2)和反射光纤(3)的一端切平；

2) 将所述单模光纤(1)端面切平的一端熔接到所述石英毛细管(2)端面切平的一端；

3) 根据需要制作Fabry-Perot干涉腔的长度，将多余的所述石英毛细管(2)切除；

4) 将带有所述单模光纤(1)的所述石英毛细管(2)切平的另一端熔接到所述反射光纤(3)切平的一端。

6.根据权利要求5所述的内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器的制作方法，其特征在于：在制作过程中采用光谱仪实时观测光纤Fabry-Perot干涉腔反射谱的变化，当观测到的光纤Fabry-Perot干涉腔反射谱的对比度小于2 dB时，则停止后续熔接操作，重新切割光纤端面和/或者重新对准光纤后熔接。

7.根据权利要求5所述的内嵌石英毛细管的全石英光纤Fabry-Perot干涉传感器的制作方法，其特征在于：在所述单模光纤(1)、所述石英毛细管(2)和所述反射光纤(3)外面涂覆一层保护膜(10)。