[发明专利]一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔无效

申请号：	201110279580.9	申请日：	2011-09-20
公开（公告）号：	CN102368473A	公开（公告）日：	2012-03-07
发明（设计）人：	李超波;黄成强;陈波;饶志鹏	申请（专利权）人：	嘉兴科民电子设备技术有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/677
代理公司：	浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100	代理人：	赵芳;徐关寿
地址：	314006 浙江省嘉兴市南***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	一种刻蚀坚硬无机材料 icp 空腔
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【权利要求书】：

1. 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，包括腔体，所述腔体上安装有腔盖，所述腔盖上开有片盘取放口，所述片盘取放口处设置有盖子，所述腔体的一侧面上开有片盘进出口，所述片盘进出口处设有阀门，所述腔体上设有用于与机械泵连接的机械泵接口、用于与进气管道连接的进气管道接口，其特征在于：所述腔体内底面上开有导轨槽，所述导轨槽内安装有沿其运动的导轨器，所述导轨器上连接有输送片盘的机械手；所述导轨器与带动其运动的丝杆连接，所述丝杆可转动的安装在腔体内，其一端穿出腔体与伺服电机连接，所述伺服电机固定在腔体的底部。

2. 根据权利要求1所述的一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，其特征在于：所述导轨器的宽度与导轨槽相等，所述导轨器的长度小于导轨槽的长度。

3. 根据权利要求1或2所述的一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，其特征在于：所述腔盖与腔体通过螺钉固定，并通过密封圈密封。

4. 根据权利要求3所述的一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，其特征在于：所述腔盖与盖子之间设有密封槽。

5. 根据权利要求4所述的一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，其特征在于：所述丝杆与腔体之间是采用磁流体密封。

6. 根据权利要求5所述的一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，其特征在于：所述丝杆固定安装在腔体内的丝杆固定器上。

7. 根据权利要求6所述的一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，其特征在于：所述腔体与伺服电机、机械泵、丝杆固定器、进气管道、阀门均是螺纹连接。

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