[发明专利]光学元件中频误差的检测方法无效
| 申请号： | 201110279067.X | 申请日： | 2011-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102435420A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 徐建程 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 中频 误差 检测 方法 | ||
1.一种光学元件中频误差的检测方法，其特征在于包括如下步骤，
采用第一干涉仪测量被测光学元件全口径的低频面形分布，该第一干涉仪口径不小于被测光学元件的口径；
将被测光学元件分成N个方形子区域，采用第二干涉仪测量上述各个子区域的面形分布，该第二干涉仪的口径不小于被测子区域的对角线的长度；
计算被测光学元件各个子区域内的中频误差的功率谱密度，并根据计算该被测整个光学元件的中频误差的功率谱密度；其
中，Si和PSDi(u，v)分别表示第i个区域内中频误差的面积和功率谱密度，S0和PSDV(u，v)分别表示大口径光学元件全口径中频误差的面积和功率谱密度；
判断该光学元件的中频误差是否满足要求，若不满足再判断各个子区域内的中频误差是否满足要求，从而得到中频误差需要返修的区域，进而指导光学加工；
其中，所述第二干涉仪的分辨率大于所述第一干涉仪的分辨率。
2.根据权利要求1所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，还包括如下步骤：
A，在获得所述光学元件低频面形分布之后，根据所述的低频面形分布，计算出每个子区域的倾斜量和平移量；
B，在获得所述光学元件各个子区域面形分布之后，并计算各个子区域中频误差的功率谱密度之前，利用步骤A的结果对每个子区域的倾斜量和平移量进行修正。
3.根据权利要求1所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，所述光学元件子区域的划分个数大于或等于16。
4.根据权利要求1所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，在采用所述第一干涉仪测量光学元件的面形分布时，在第一干涉仪和被测光学元件之间设置第一参考镜，且所述第一参考镜的口径不小于所述第一干涉仪的口径。
5.根据权利要求1所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，在采用所述第二干涉仪测量每一子区域的面形分布时，在第二干涉仪和被测光学元件之间设置第二参考镜，且所述第二参考镜的口径不小于所述第二干涉仪的口径。
6.根据权利要求4所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，所述第二参考镜的面形精度高于63nm。
7.根据权利要求1所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，所述第一干涉仪口径为600mm，CCD的像素为480X600，有效分辨率小于0.5mm-1。
8.根据权利要求1所述的光学元件中频误差的检测方法，其特征在于，第二干涉仪的口径小于或等于100mm。
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