[发明专利]利用两根半导体纳米线耦合的单纵模激光器及制备方法无效

专利信息
申请号: 201110278894.7 申请日: 2011-09-20
公开(公告)号: CN102412503A 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 童利民;肖尧;伍晓芹;孟超 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01S5/10 分类号: H01S5/10;C23C16/22
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 周烽
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 利用 半导体 纳米 耦合 单纵模 激光器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种利用两根半导体纳米线耦合的单纵模激光器,其特征在于,它由长纳米线和短纳米线组成,短纳米线在靠近长纳米线第二端点(2)处与长纳米线部分紧贴,形成X形结构的单纵模激光器;短纳米线第一端点(3)和长纳米线第二端点(2)之间以及短纳米线第一端点(3)和短纳米线第二端点(4)之间均形成FP(Fabry-Perot,法布里-珀罗)腔,且两个FP腔腔长匹配。

2.一种权利要求1所述单纵模激光器的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

(1)首先通过化学气相沉积方法制备出直径50-1000 nm的高品质的半导体纳米线;

(2)在显微镜下利用两根光纤探针将生长基片上的直径为50-1000nm的纳米线切断一分为二:一根较长的长纳米线和一根较短的短纳米线,并将两根纳米线放置在低折射率衬底上;

(3)用光纤探针进行微纳操作,将短纳米线推向较长纳米线的一端,即长纳米线第二端点(2),使长纳米线和短纳米线部分紧贴,形成X形结构的单纵模激光器;短纳米线第一端点(3)和长纳米线第二端点(2)之间以及短纳米线第一端点(3)和短纳米线第二端点(4)之间均形成FP(Fabry-Perot,法布里-珀罗)腔,且两个FP腔腔长匹配,刚好可以实现单模激光的选择。

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