[发明专利]磁水分离型平面磁控溅射靶无效
| 申请号： | 201110276844.5 | 申请日： | 2011-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN102330061A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李云辉;李云松;华冬辉 | 申请（专利权）人： | 衡阳市真空机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 衡阳市科航专利事务所 43101 | 代理人： | 杨代祯 |
| 地址： | 421001 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水分 平面 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁水分离型平面磁控溅射靶，包括冷却进水管、冷却出水管、导磁板、阴极体、靶材压环、螺钉、靶材、中心极靴、中心永磁块、边极靴、边永磁块和下密封圈，导磁板上有冷却进水管和冷却出水管通过的通孔，其位于阴极体的上面，靶材压环和靶材位于阴极体的下面，导磁板、阴极体和靶材压环通过螺钉固定，下密封圈位于阴极体与靶材之间，阴极体上还有冷却进水管和冷却出水管通过的通孔，其特征是阴极体上有矩形槽，其中心有盲孔，冷却进水管和冷却出水管向上穿过导磁板和阴极体上的通孔，并用水管密封圈与阴极体形成密封，中心极靴和中心永磁块位于盲孔内，边极靴和边永磁块位于矩形槽内。
2.根据权利要求1所述的磁水分离型平面磁控溅射靶，其特征是导磁板、阴极体、靶材压环和靶材均为长方形，阴极体上的矩形槽为长方形，其中心的矩形槽为长条形。
3.根据权利要求1所述的磁水分离型平面磁控溅射靶，其特征是导磁板、阴极体、靶材压环和靶材均为圆形，阴极体上的矩形槽为圆环形，其中心盲孔为圆形。
4.根据权利要求3所述的磁水分离型平面磁控溅射靶，其特征是圆环形矩形槽的圆心与圆形盲孔的圆心重合。
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