[发明专利]制备多晶硅的方法有效
申请号: | 201110276760.1 | 申请日: | 2011-09-16 |
公开(公告)号: | CN102432021A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 苏文华;李胜路 | 申请(专利权)人: | 江西盛丰新能源科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 刘华联;陈敏 |
地址: | 331100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 多晶 方法 | ||
1.一种制备多晶硅的方法,其包括以下步骤:
1)在空气气氛,1大气压下,将原料硅熔融成液态硅;
2)将造渣剂分批次加入到熔融的液态硅中,精炼并滤去渣体;
3)将通过步骤2)制备的液态硅进行定向冷却,得到硅锭。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述造渣剂为碱性造渣剂。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述碱性造渣剂由30%-40%重量的CaO,10%-30%重量的Na2CO3和40%-50%重量的SiO2组成。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述碱性造渣剂包含36%重量的CaO、18%重量的Na2CO3和46%重量的SiO2。
5.根据权利要求1到4中任一项所述的方法,其特征在于,所述液态硅的温度保持在1435℃-1500℃。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述液态硅的温度保持为1455℃。
7.根据权利要求1到4中任一项所述的方法,其特征在于,所述碱性造渣剂总量与所熔融的硅以重量比记为1∶1-1∶5,优选为1∶1.25。
8.根据权利要求1到4中任一项所述的方法,其特征在于,在步骤3)中定向冷却的降温速率为60℃/小时。
9.根据权利要求1到4中任一项所述的方法,其特征在于,将所述碱性造渣剂分30-120次等量加入,时间间隔为10分钟。
10.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,在所选用的原料硅中,硼的含量小于等于100ppm,磷的含量小于等于30ppm。
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