[发明专利]一种快速响应与恢复式钛酸钡纳米纤维湿敏传感器

权利要求书

1.一种快速响应与恢复式钛酸钡纳米纤维湿敏传感器，其特征在于主体结构包括基片、湿度响应层、电极、电流表、变阻器和直流电源；由玻璃、云母或蓝宝石材料作为不导电衬底的基片上通过收集法形成的湿度响应层为静电纺丝制备的钛酸钡纳米纤维，其厚度为100纳米至1微米，收集有静电纺丝形成的无纺布结构钛酸钡纳米纤维湿度响应层的基片封装在密闭腔式外壳内，用同轴电缆通过电极引出电极引线；电极为点状、线状或平面状结构，采用银胶连接或用铟焊接，或采用真空镀膜法蒸镀铂、金、银或铝电极；可调节电阻式结构的变阻器为普通变阻器或电位器；无纺布钛酸钡纳米纤维具有电容性，变阻器对湿度响应层产生的电流具有起放电作用，变阻器的阻值为0.05-1MΩ可调节；基片上均匀收集形成湿度响应层，基片两端的湿度响应层上分别固定制有对称结构的两个电极，其中一个电极通过导线串接电流表后接于变阻器和直流电源并联后的一个端点，另一个电极通过导线接于变阻器和直流电源并联的另一个端点，整体构成湿度传感器。

2.根据权利要求1所述的快速响应与恢复式钛酸钡纳米纤维湿敏传感器，其特征在于涉及的湿敏传感器制备时，先按配比方案配制钛酸钡前驱体溶液；调整和选择纺丝条件，利用静电纺丝法制备的钛酸钡纳米纤维并经过退火在基片上收集形成多晶结构的钛酸钡纳米纤维湿度响应层；再用常规制膜工艺制备电极并焊接出电极引线，然后采用半导体封装工艺封装在外壳内，制备出钛酸钡纳米纤维湿敏传感器单体；最后按电学原理连接电流表、变阻器和直流电源构成快速响应与恢复式湿敏传感器。