[发明专利]扫描机构、磁控源和磁控溅射设备

权利要求书

1.一种磁控源的扫描机构，其特征在于，包括：

驱动轴，所述驱动轴上设有第一齿轮；

曲柄，所述曲柄的第一端与所述驱动轴相连以由所述驱动轴驱动旋转；

第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合；

传动部件，所述传动部件具有第三齿轮，所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合；和

摇杆，所述摇杆的第一端与所述曲柄的第二端可枢转地相连，所述摇杆与所述传动部件可相对滑动地相连以便所述摇杆同时由所述曲柄和所述传动部件驱动。

2.根据权利要求1所述的磁控源的扫描机构，其特征在于，所述第一齿轮和第二齿轮为圆柱形外齿轮，所述第三齿轮为圆环形的内齿轮，所述传动部件还包括滑套，所述滑套可枢转地安装在所述第三齿轮的侧面上，所述摇杆可滑动地穿过所述滑套。

3.根据权利要求1所述的磁控源的扫描机构，其特征在于，所述驱动轴与驱动机构相连。

4.根据权利要求3所述的磁控源的扫描机构，其特征在于，所述驱动机构为电机。

5.根据权利要求1所述的磁控源的扫描机构，其特征在于，所述第一至第三齿轮均为锥齿轮，所述传动部件还包括传动筒和传动套，所述传动筒的下端敞开，所述传动套的上端和下端分别与所述第三齿轮和所述传动筒相连，所述第一齿轮安装在所述驱动轴的第一端，所述驱动轴的第二端穿过所述传动套伸入到所述传动筒内，所述曲柄的第一端与所述驱动轴的第二端相连，所述摇杆可滑动地穿过所述传动筒的侧壁，所述摇杆的第一端和所述曲柄的第二端分别与连杆的两端可枢转地连接。

6.根据权利要求5所述的磁控源的扫描机构，其特征在于，所述传动筒和传动套一体地形成。

7.一种磁控源，其特征在于，包括：

靶材；

磁控管，所述磁控管位于所述靶材上方；和

扫描机构，所述扫描机构为根据权利要求1-6中任一项所述的扫描机构，其中所述扫描机构与所述磁控管相连以控制所述磁控管在所述靶材上方移动，其中所述磁控管与所述扫描机构的所述摇杆的第二端相连。

8.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括：

腔室本体，所述腔室本体内限定有腔室；和

磁控源，所述磁控源为根据权利要求7所述的磁控源，其中所述磁控源的靶材设在所述腔室本体的上端且所述靶材的下表面暴露到所述腔室内。