[发明专利]1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅有效
| 申请号： | 201110275141.0 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102289014A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 关贺元;晋云霞;刘世杰;汪剑鹏;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 1053 纳米 波段 金属 介质 反射 偏振 光栅 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于1053纳米波段的金属介质膜偏振分束光栅，其特征在于是在石英基底上，依次镀制的银层（6）、高反射膜层（5）和矩形光栅（1）构成，该矩形光栅（1）的周期为680.6纳米，占空比为0.2，银层（6）厚度为100纳米，刻蚀深度为374~476纳米。
2.如权利要求1所述的金属介质膜偏振分束光栅，其特征在于所述的高反射膜层（5）由3层膜组成，中间层（3）为高折射率层，其材料为TiO2或Ta2O5，内层（4）和外层（2）为低折射率膜层，其材料为SiO2，所述的高反射膜层是规整膜系，或是非规整膜系。
3.如权利要求1所述的金属介质膜偏振分束光栅，其特征在于所述的矩形光栅（1）的材料为HfO2。
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