[发明专利]用于太阳能热发电的反射银镜及其制作方法

权利要求书

1.用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：包括超白超薄玻璃以及呈抛物状的基板玻璃；在超白超薄玻璃的前表面镀布有高透自洁薄膜层，在超白超薄玻璃的后表面镀布有Al₂O₃粘接层，在Al₂O₃粘接层上镀布有Ag反射层，具有上述镀膜的超白超薄玻璃通过粘接层整体固定于基板玻璃的抛物面上。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：所述高透自洁薄膜层由镀布在超白超薄玻璃前表面上的SiO₂薄膜层，以及镀布在SiO₂薄膜层表面上的TiO₂薄膜层组成。

3.根据权利要求2所述的用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：所述SiO₂薄膜层的厚度为80-120nm，TiO₂薄膜层的厚度为80-100nm。

4.根据权利要求1所述的用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：在Ag反射层的表面还镀布有保护层。

5.根据权利要求1所述的用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：所述保护层为Cu薄膜层。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：超白超薄玻璃的厚度为0.85-1.6mm。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的用于太阳能热发电的反射银镜，其特征在于：所述粘接层为PVB胶片或改性结构胶。

8.制备用于太阳能热发电的反射银镜的方法，其特征在于包含以下步骤：

步骤1，采用磁控溅射或溶胶-凝胶喷镀法在已经经过化学钢化并经过清洗的超白超薄玻璃前表面上，依次镀上SiO₂薄膜层以及TiO₂薄膜层后，进行380C固化处理；

步骤2，在超白超薄玻璃的后表面上，采用中频反应磁控溅射镀膜，步骤如下：

(1)将步骤1镀膜后的超白超薄玻璃装入镀膜室内，其后表面朝向镀膜机靶面，抽真空至5×10^-3；

(2)向真空镀膜室通入纯度为99％的氩气，流量200sccm，使镀膜室内的真空度达4×10^-1；

(3)开启铝材靶中频电源，待电压稳定后，向镀膜室通入氧气，氧气流量从50sccm增加到250sccm，打开铝材靶挡板，向超白超薄玻璃的后面表溅射沉积Al₂O₃，Al₂O₃膜厚达到60-120nm；

(4)关闭中频电源和停止供氧，将镀膜室真空度抽到6×10^-3Pa，通氩气到4×10^-1Pa，然后开启直流靶电源，打开银材靶挡板向Al₂O₃薄膜层表面溅射沉积Ag，Ag膜厚度达到120-150nm关闭直流靶电源；

步骤3，将步骤2得到的镀膜超白超薄玻璃，采用粘接层固定于抛物状的基板玻璃的抛物面上。

9.根据权利要求8所述的制备用于太阳能热发电的反射银镜的方法，其特征在于：所述基板玻璃是采用浮法玻璃在700C下热弯，钢化成为具有抛物面形状的基板玻璃。

10.根据权利要求8或9所述的制备用于太阳能热发电的反射银镜的方法，其特征在于：步骤2中镀好Ag薄膜层后，还将进行镀Cu薄膜层的步骤，即将直流电源切换到Cu靶，打开Cu靶挡板在Ag薄膜层的表面上溅射沉积Cu，当Cu薄膜层的厚度达到100-120nm时，关闭电源，并停止供氩气。