[发明专利]高强度轻型复合板及制备方法

权利要求书

1.高强度轻型复合板，其特征在于，在铝箔(1)上沉积氮化钛薄膜(2)，在氮化钛薄膜(2)上沉积钛硅氮薄膜(3)，再在钛硅氮薄膜(3)上沉积氮化钛薄膜(2)，形成基本复合板。

2.根据权利要求1所述的高强度轻型复合板，其特征在于，所述基本复合板中的铝箔、氮化钛薄膜、钛硅氮薄膜、氮化钛薄膜的厚度比为：(2.5～3.5)∶(0.8～1.2)∶(0.5～0.7)∶(0.8～1.2)。

3.高强度轻型复合板的制备方法，其特征在于，方法步骤如下：在铝箔上沉积氮化钛薄膜之前，首先对铝箔表面进行去除氧化层处理；然后将氮化钛薄膜沉积在铝箔上，再将钛硅氮薄膜沉积在氮化钛薄膜上，最后将氮化钛薄膜沉积在钛硅氮薄膜上，沉积温度约为250～310℃，沉积率为0.3～0.6nm/s，当氮化钛薄膜的沉积厚度大于铝箔厚度的十分之一时，每沉积5～7分钟，间歇1～2分钟。