[发明专利]一种解决改机问题的限定分配调度方法

权利要求书

1.一种解决改机问题的限定分配调度方法，用于调度半导体后段制造过程中的多个加工任务在多个加工设备中的工序，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将待加工任务集初始化为途经本道工序的所有加工任务的集合，将未分配设备集初始化为本道工序的所有加工设备的集合；所述未分配设备集是未分配任何加工任务的设备；

步骤2：从待加工任务集中，选择前道工序最早完工的加工任务π_i，其加工条件为δ_h，未分配设备集不为空，转到步骤3；未分配设备集为空，转到步骤4；

步骤3：统计与加工条件δ_h相同的设备总计数量

计算加工条件为δ_h的允许最大设备分配数量：

式中，M_j为第j道工序的设备总数，表示满足加工条件δ_h的加工任务i在第j道工序的加工时间，表示f(x)的向上取整；如果则从未分配设备集中选择一台设备分配给加工任务π_i进行加工，将该设备的加工条件设置为δ_h，同时将该设备从未分配设备集中删除；如果则从已分配加工条件δ_h的设备中选择最早完工的设备分配给加工任务π_i，从待加工任务集中删除加工任务π_i，转至步骤5；

步骤4：在满足加工条件δ_h的设备集中选择最早结束加工任务的设备；

在满足另一加工条件δ_other的设备集中选择最早结束加工任务的设备；

如果满足

MEMk,δother+f*Rδ,j>MEMk,δh---(2)]]>

则将加工任务π_i分配给满足加工条件δ_h的设备集中最早结束加工任务的设备；

否则，将加工任务π_i分配给满足加工条件δ_other的设备集中的最早结束加工任务的设备，进行改机生产，从待加工任务集中删除加工任务π_i，转至步骤5；公式(2)中，表示已分配加工条件δ_h的所有加工设备的最早结束时间；表示已分配加工条件δ_other的所有加工设备的最早结束时间；R_δ，j为工序j的改机时间；f表示代价因子，是将成本代价折合为时间代价的因子，f≥1，同样改机时间情况下，当改机成本代价较高时，则f较大；

步骤5：检查待加工任务集是否为空，如果为空，则结束本道工序的分配，进入下一道工序的分配；否则，返回到步骤2。