[发明专利]溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法有效
| 申请号： | 201110272666.9 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102992259A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 钟健;周涓;何丹农 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溶液 体系 动态 模式 纳米 刻蚀 技术 制造 图形 方法 | ||
1.一种溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一步：在溶液体系下对基底表面进行扫描成像，检测基底表面平整，无杂质，选定所需要的区域，其中成像溶液的使用量为100-150μL；
第二步：将稀释好的丝素蛋白溶液加入到成像溶液中，用原子力显微镜针尖进行连续轻敲模式扫描成像，将蘸在针尖上的丝素蛋白纳米刻蚀到基底上，实现微米图形的制造；
第三步：仍然用此针尖对所制造的微米图形进行再次扫描成像，检查所制造的图形。
2.根据权利要求1所述的溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，所述原子力显微镜探针的针尖材质为硅，或氮化硅。
3.根据权利要求1所述的溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，所述成像溶液为水，或PBS缓冲液。
4.根据权利要求1所述的溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，所述丝素蛋白溶液最终浓度为0.006％。
5.根据权利要求1所述的溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，所述第二步操作可再次对不同区域进行连续扫描成像，通过调整X轴或Y轴的参数，转换到另外一处位置，进行连续的扫描成像，不断的转换X轴或Y轴的参数，进行微米图形的制造。
6.根据权利要求1所述的溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，所述连续扫描成像的速率在0.1～2.0Hz。
7.根据权利要求1所述的溶液体系下动态模式纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法，其特征在于，环境温度控制在20-30℃。
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