[发明专利]在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法

权利要求书

1.在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，使用高真空磁控溅射仪，用室温循环水对其冷却降温，用高纯氩气作为溅射气体，其特征在于：包括如下步骤：

a）取PET柔性衬底，置于50～70 oC的丙酮溶液中，超声清洗15～25min；

b）将上述PET柔性衬底，用高纯去离子水反复冲洗、烘干，放入溅射室；

c）安装TZO陶瓷靶材，其成分为TiO2：ZnO = 1.6～2.6：97.4～98.4；

d）调整靶基距为50～60mm；溅射功率为50～65W；溅射压强在4～6Pa；流量25～35SCCM；

e）开机溅射4～6min，在PET柔性衬底上形成一柔性TZO薄膜的同质缓冲层；停机4～6min；

f）再开机溅射16～24min，在PET柔性衬底上形成了掺钛氧化锌透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤a）中，PET柔性衬底在60 oC的丙酮溶液中，超声清洗20min；再将经丙酮溶液超声清洗过的PET柔性衬底，再置于无水乙醇浸泡各20min。

3.根据权利要求2所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤c）中，TZO陶瓷靶材的成分为TiO2：ZnO = 2.1：97.9；其中TiO2和ZnO的纯度均为99.99%。

4.根据权利要求1至3任一所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤d）中，靶基距为52mm。

5.根据权利要求4所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤d）中，溅射压强在5Pa。

6.根据权利要求5所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤d）中，，溅射功率为60W。

7.根据权利要求6所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤d）中，流量为30SCCM。

8.根据权利要求7所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤e）中，开机溅射时间为5min，停机时间为5min。

9.根据权利要求8所述的在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于：在所述步骤f）中，再开机溅射的时间为20min；即可在PET柔性衬底上制取了掺钛氧化锌透明导电薄膜。