[发明专利]蓝光DVD、CD光学读取头的反射镜膜系及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种蓝光DVD、CD光学读取头的反射镜膜系及其制备方法。

背景技术

405nm、665nm、790nm分别对应于光学读取头蓝光 DVD、 CD三种激光头波长。与传统DVD相比，蓝光DVD需要利用波长较短（405nm）的蓝色激光。现有的蓝光DVD为在传统DVD基础上增加一组蓝光光路，设备系统复杂，而且体积大。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种反射镜膜系，在使用DVD激光头时，镀有该膜系的反射镜高反，对原有光路不影响，而使用405nm蓝光激光头时，镀有该膜系的反射镜又达到使405nm高反的效果。使蓝光和原有DVD光路组合在一起，减少体积，降低成本。

本发明提供的蓝光DVD、CD光学读取头的反射镜膜系，单面镀覆于反射镜的基底上，所述反射镜膜系由33层膜构成，其中，与基底相接触的膜为第一层膜，所述反射镜膜系的奇数层膜为TiO₂膜，偶数层膜为SiO₂膜，所述反射镜膜系各层的光学厚度为：

第一层膜：331nm;           第二层膜：226nm;

第三层膜：208nm;           第四层膜：173nm;

第五层膜：213nm;           第六层膜：176nm;

第七层膜：217nm;           第八层膜：185nm;

第九层膜：178nm;           第十层膜：226nm;

第十一层膜：172nm;         第十二层膜：182nm;

第十三层膜：631nm;          第十四层膜：376nm;

第十五层膜：208nm;         第十六层膜：199nm;

第十七层膜：163nm;          第十八层膜：183nm;

第十九层膜：227nm;          第二十层膜：153nm;

第二十一层膜：225nm;       第二十二层膜：140nm;

第二十三层膜：268nm;        第二十四层膜：131nm;

第二十五层膜：279nm；       第二十六层膜：122nm;

第二十七层膜：461nm；       第二十八层膜：137nm;

第二十九层膜：101nm；         第三十层膜：335nm;

第三十一层膜：99nm;          第三十二层膜：146nm; 

第三十三层膜：83nm。

优选地，所述反射镜的基底为B270。

上述的反射镜膜系的制备方法为：所述膜系的各层膜通过真空蒸镀单面镀覆在所述反射镜的基底上。

优选地，上述的制备方法，包括以下步骤：

1）清洗基底；

2）计算所述反射镜膜系各层膜的物理厚度；

3）将步骤1）所得的基底放入高真空镀膜设备中，抽真空，加热基底至280~300℃，保温，启动离子源设备清洗基底；

4）以电子束蒸发源蒸镀，使所述反射镜膜系的各层膜以物理厚度依次镀覆于所述反射镜基底的一面上。

优选地，步骤4）所述电子束蒸发源蒸镀SiO₂膜时，真空度为3×10^-3 Pa，沉积速率为0.7nm/s；所述电子束蒸发源蒸镀TiO₂膜时，真空度为2×10^-2Pa，沉积速率为0.3nm/s。

本发明通过设计镀制这种膜系，有效的简化了光学系统，减少仪器的体积和重量。本发明设计的膜系是使用角度45°：在蓝光405nm高反，DVD665nm CD790nm波段高反。通过本发明选用的工艺，偏光S光和P光的反射率能达到97%以上，本发明工艺简单，重复性好。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

本发明的蓝光DVD、CD光学读取头的反射镜膜系，所述反射镜膜系单面镀覆于反射镜的基底上，所述反射镜膜系由33层膜构成，其中，与基底相接触的膜为第一层膜，所述反射镜膜系的奇数层膜为TiO₂膜，偶数层膜为SiO₂膜，所述反射镜膜系各层的光学厚度为：