[发明专利]一种电子显微镜样品盒

权利要求书

1.一种电子显微镜样品盒，包括：

一第一基板，其具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一个或一个以上的第一导孔，其中该第一凹槽设置于该第二表面，而该第一表面上设有一第一薄膜，其对应于该第一凹槽，且该一个或一个以上的第一导孔设置于该第一凹槽的外围，并贯穿该第一基板；

一第二基板，其具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽，其中该第二凹槽设置于该第四表面，而该第三表面上设有一第二薄膜，其对应于该第二凹槽；

一金属黏着层，设置于该第一基板与该第二基板之间；以及

一个或一个以上的光电元件，其具有一个或一个以上的作用端，而该光电元件设置于该第一基板及该第二基板之间；

其中该第一基板、该第二基板、及该金属黏着层之间形成一空间，且该光电元件的该作用端设于该空间。

2.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一导孔贯穿该第一薄膜。

3.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该金属黏着层设置于该第二表面与该第四表面之间。

4.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该金属黏着层设置于该第二表面与该第二薄膜之间。

5.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中一个或一个以上的该光电元件各自独立为光纤、或电极。

6.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第二基板更包括一个或一个以上的第二导孔，其中该第二导孔设置于该第二凹槽的外围，并贯穿该第二基板。

7.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一导孔的孔径为10至1000微米。

8.如权利要求6所述的电子显微镜样品盒，其中该第二导孔的孔径为10至1000微米。

9.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中更包含一个或一个以上的栓塞，置于该第一导孔。

10.如权利要求6所述的电子显微镜样品盒，其中更包含一个或一个以上的栓塞，置于该第二导孔。

11.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一薄膜及该第二薄膜的材料各自独立为二氧化硅SiO₂、氮化硅Si₃N₄、或其组合。

12.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一薄膜、及该第二薄膜的厚度为1至100纳米。

13.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一薄膜的外层设有一第一保护层。

14.如权利要求13所述的电子显微镜样品盒，其中该第一保护层的材料为氮化硅Si₃N₄。

15.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第二薄膜的外层设有一第二保护层。

16.如权利要求15所述的电子显微镜样品盒，其中该第二保护层的材料为氮化硅Si₃N₄。

17.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一基板及第二基板各自独立为硅基板、玻璃基板、或聚合物基板。

18.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一基板及该第二基板的厚度介于10至1000微米。

19.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该金属黏着剂为一金属材料，其中该金属材料选自：钛、钛钨合金、铬、镍、锡、铟、铋、铜、银、镍、锌、金、或其组合所组成的群组。

20.如权利要求9所述的电子显微镜样品盒，其中该栓塞的材料选自：钛镍合金、铜基合金、铜锌合金、铜铝锰合金、铜铝镍合金、铜铝铍合金、铜铝铍锆合金、铜铝镍铍合、及其组合所组成的群组。

21.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其中该第一基板、该第二基板、及该金属黏着层所形成该空间的体积为0.01至100立方毫米。