[发明专利]显影消泡装置无效
申请号: | 201110268205.4 | 申请日: | 2011-09-09 |
公开(公告)号: | CN102323728A | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 黎钦源;刘攀;刘洋 | 申请(专利权)人: | 东莞生益电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 装置 | ||
1.一种显影消泡装置,其特征在于,包括:本体、连接本体的排污管道及抽泡装置,该本体内部设有一隔板,该隔板将本体内部分隔成左右相邻的反应槽及溢流槽,隔板上端与本体顶部之间留有通口,从而反应槽与溢流槽顶部连通,所述排污管道连通溢流槽,抽泡装置通过抽泡管道连接溢流槽,反应槽内产生的泡沫通过隔板通口溢流至溢流槽内,再通过抽泡装置抽走。
2.如权利要求1所述的显影消泡装置,其特征在于,所述排污管道连接在溢流槽底部,抽泡装置一端通过抽泡管道连通溢流槽,另一端通过抽泡管道连接至排污管道。
3.如权利要求2所述的显影消泡装置,其特征在于,所述排污管道上还设有开关阀门,开关阀门设于溢流槽与抽泡管道之间的排污管道上。
4.如权利要求1所述的显影消泡装置,其特征在于,所述反应槽用于盛装反应液,其液面高度不高于隔板高度。
5.如权利要求1-4任一项所述的显影消泡装置,其特征在于,工作时,反应槽内盛装有反应液,反应液的液面高度不高于隔板高度,该反应槽内产生的泡沫漂浮于液面上,并通过隔板与本体顶部之间的通口溢流至溢流槽内;开启抽泡装置,将溢流槽内的泡沫抽出。
6.如权利要求1所述的显影消泡装置,其特征在于,所述抽泡装置包括气动隔膜泵。
7.如权利要求6所述的显影消泡装置,其特征在于,所述抽泡装置还包括设于气动隔膜泵与气源之间的气体过滤器。
8.如权利要求6所述的显影消泡装置,其特征在于,所述抽泡装置还包括泡沫感应报警装置,当感应到泡沫未能被抽去时进行报警。
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