[发明专利]显影消泡装置无效

专利信息
申请号: 201110268205.4 申请日: 2011-09-09
公开(公告)号: CN102323728A 公开(公告)日: 2012-01-18
发明(设计)人: 黎钦源;刘攀;刘洋 申请(专利权)人: 东莞生益电子有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显影 装置
【权利要求书】:

1.一种显影消泡装置,其特征在于,包括:本体、连接本体的排污管道及抽泡装置,该本体内部设有一隔板,该隔板将本体内部分隔成左右相邻的反应槽及溢流槽,隔板上端与本体顶部之间留有通口,从而反应槽与溢流槽顶部连通,所述排污管道连通溢流槽,抽泡装置通过抽泡管道连接溢流槽,反应槽内产生的泡沫通过隔板通口溢流至溢流槽内,再通过抽泡装置抽走。

2.如权利要求1所述的显影消泡装置,其特征在于,所述排污管道连接在溢流槽底部,抽泡装置一端通过抽泡管道连通溢流槽,另一端通过抽泡管道连接至排污管道。

3.如权利要求2所述的显影消泡装置,其特征在于,所述排污管道上还设有开关阀门,开关阀门设于溢流槽与抽泡管道之间的排污管道上。

4.如权利要求1所述的显影消泡装置,其特征在于,所述反应槽用于盛装反应液,其液面高度不高于隔板高度。

5.如权利要求1-4任一项所述的显影消泡装置,其特征在于,工作时,反应槽内盛装有反应液,反应液的液面高度不高于隔板高度,该反应槽内产生的泡沫漂浮于液面上,并通过隔板与本体顶部之间的通口溢流至溢流槽内;开启抽泡装置,将溢流槽内的泡沫抽出。

6.如权利要求1所述的显影消泡装置,其特征在于,所述抽泡装置包括气动隔膜泵。

7.如权利要求6所述的显影消泡装置,其特征在于,所述抽泡装置还包括设于气动隔膜泵与气源之间的气体过滤器。

8.如权利要求6所述的显影消泡装置,其特征在于,所述抽泡装置还包括泡沫感应报警装置,当感应到泡沫未能被抽去时进行报警。

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