[发明专利]静电电容性致动器的驱动装置

权利要求书

1.一种静电电容性致动器的驱动装置，其特征在于，所述静电电容性致动器的驱动装置具有：

第一电压源，输出用于对静电电容性致动器充电的第一电压；

第二电压源，输出用于对所述致动器充电的第二电压；以及

驱动单元，按照一系列的充放电顺序切换：将从所述第一电压源输出的所述第一电压供给至所述致动器的第一充电、将从所述第一电压源输出的所述第一电压与从所述第二电压源输出的所述第二电压的合计电压供给至所述致动器的第二充电、使通过所述第一充电及所述第二充电的作用而蓄积于所述致动器的电荷放出并导入所述第二电压源的第一放电、以及使蓄积于所述致动器的电荷放出而不导入所述第二电压源的第二放电，

其中，通过所述第二充电从所述第二电压源输出的电荷量与通过所述第一放电导入所述第二电压源的电荷量相等。

2.根据权利要求1所述的静电电容性致动器的驱动装置，其特征在于，所述第二电压源是电容器。

3.根据权利要求1所述的静电电容性致动器的驱动装置，其特征在于，所述静电电容性致动器的驱动装置具有：

以反极性跟踪从所述第一电源输出的第一电位的跟踪稳压器，所述跟踪稳压器的输出供给至所述第二电压源。

4.根据权利要求2所述的静电电容性致动器的驱动装置，其特征在于，所述静电电容性致动器的驱动装置具有：

以能调整所述电容器的充电电压的方式所连接的线性稳压器。