[发明专利]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，具备：

第一质量体，由第一梁保持，能够因加速度而发生位移；

固定电极，以能够将所述第一质量体的所述位移转换成电量的方式配置；以及

位移容易度变化部件，在所述第一质量体的所述位移超过既定的范围时，给所述第一质量体的位移容易度带去变化。

2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

所述位移容易度变化部件为第二质量体，由第二梁保持，能够因加速度而发生位移，与所述第一质量体隔开既定的间隔而配置。

3.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：

所述第二梁和所述第二质量体为多个，

各所述第二质量体由各不相同的所述第二梁保持。

4.如权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：

各所述第二质量体为相同的质量，

各所述第二梁为相同的刚性。

5.如权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：

各所述第二质量体为不同的质量，

各所述第二梁为不同的刚性。

6.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：

在与所述第一质量体面对的所述第二质量体侧或与所述第二质量体面对的所述第一质量体侧，形成有突起。

7.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：

俯视时，所述第二质量体围绕所述第一质量体。

8.如权利要求7所述的加速度传感器，其特征在于：

所述第一梁将所述第一质量体和所述第二质量体连结，

所述第二梁将所述第二质量体和作为固定端的锚连结。

9.如权利要求7所述的加速度传感器，其特征在于：

所述第一梁将所述第一质量体和作为固定端的第一锚连结，

所述第二梁将所述第二质量体和作为固定端的第二锚连结。

10.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：

仅探测所述第一质量体和所述固定电极之间的静电电容的变化。

11.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：

所述固定电极以能够将所述第二质量体的所述位移转换成电量的方式配置，

探测所述第一质量体与所述固定电极之间的静电电容的变化和所述第二质量体与所述固定电极之间的静电电容的变化的二者。

12.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

所述位移容易度变化部件是配置于所述第一梁的旁边的支柱。

13.如权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于：

所述支柱沿着所述第一梁的配设方向配置多个。

14.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

所述第一梁将所述第一质量体和作为固定端的锚连结，

还具备一端与所述第一质量体结合的第二梁，

所述位移容易度变化部件是围绕所述第二梁的另一端和该另一端附近的所述第二梁的侧面部的梁围绕部。

15.如权利要求14所述的加速度传感器，其特征在于：

所述第二梁和所述梁围绕部为多个，

按每个所述第二梁的所述另一端而配设所述梁围绕部。