[发明专利]具非均向性薄膜的低色差相位延迟器及其制作方法

权利要求书

1.一种具非均向性薄膜的低色差相位延迟器，包含：

一透明基板；及

至少一对称或类对称性膜堆，堆叠于该透明基板上，该对称或类对称性膜堆包含奇数的薄膜，该奇数的薄膜中具有一位于中间的中间层薄膜，相对于该中间层薄膜，其两侧的薄膜的性质成对称或类似对称的关系，其中奇数的薄膜中包含至少一非均向性的薄膜。

2.如权利要求1所述的低色差相位延迟器，进一步包含

至少一匹配层于该至少一对称或类对称性膜堆上，该匹配层是选自一均向性薄膜或一非均向性薄膜，该匹配层供光束入射，并进而进入该层化的相位延迟器，该匹配层使不同偏极态的透射光有相同或相近似的透射率。

3.如权利要求1所述的低色差相位延迟器，进一步包含

至少一匹配层于该至少一对称或类对称性膜堆与透明基板间，该匹配层是选自一均向性薄膜或一非均向性薄膜，光束入射进入该层化的相位延迟器，该匹配层使不同偏极态的透射光有相同或相近似的透射率。

4.如权利要求1所述的低色差相位延迟器，其中该对称或类对称性膜堆包含薄膜A’/薄膜B/薄膜A，薄膜B为该中间层薄膜，或A’之性质＝A之性质。

5.如权利要求4所述的低色差相位延迟器，其中或A’之厚度＝A之厚度。

6.如权利要求4所述的低色差相位延迟器，A’之厚度＝A之厚度，且薄膜A或A’为一非均向性薄膜。

7.如权利要求1所述的低色差相位延迟器，其中对称或该类对称性膜堆包含薄膜A’/薄膜B’/薄膜C’/薄膜D/薄膜C/薄膜B/薄膜A，薄膜D为该中间层薄膜，或A’之性质＝A之性质，或B’之性质＝B之性质，或C’之性质＝C之性质。

8.一种制作具非均向性薄膜的低色差相位延迟器的方法，包含：

提供一透明基板；及

于该透明基板上堆叠至少一对称或类对称性膜堆，该对称或类对称性膜堆包含奇数的薄膜，该奇数的薄膜中具有一位于中间的中间层薄膜，相对于该中间层薄膜，其两侧的薄膜的性质成对称或类似对称的关系，其中奇数的薄膜中包含至少一非均向性的薄膜。

9.如权利要求9所述的方法，进一步包含：

堆叠至少一匹配层于该至少一对称或类对称性膜堆上，该匹配层是选自一均向性薄膜或一非均向性薄膜，该匹配层供光束入射，并进而进入该层化的相位延迟器，该匹配层使不同偏极态的透射光有相同或相近似的透射率。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包含：

堆叠至少一匹配层于该至少一对称或类对称性膜堆与透明基板间，该匹配层是选自一均向性薄膜或一非均向性薄膜，光束入射进入该层化的相位延迟器，该匹配层使不同偏极态的透射光有相同或相近似的透射率。