[发明专利]压电元件、液滴喷射头、液滴喷射装置以及它们的制造方法

权利要求书

1.一种压电元件，其中，包括：

振动板，其在第1面具有凹部；

第1电极，其形成于所述凹部内；

压电体层，其形成于所述振动板以及所述第1电极之上；和

第2电极，其形成于所述压电体层之上，

所述第1电极的上侧的面构成与所述第1面连续的平面。

2.如权利要求1所述的压电元件，其中：

所述振动板为包括构成所述第1面的第1层的层叠体；

所述凹部不贯通所述第1层。

3.如权利要求1所述的压电元件，其中：

所述振动板为包括构成所述第1面的第1层的层叠体；

所述凹部贯通所述第1层。

4.如权利要求2或3所述的压电元件，其中：

所述第1层为氧化锆。

5.一种液滴喷射头，其中：包括权利要求4所述的压电元件。

6.一种液滴喷射装置，其中：包括权利要求5所述的液滴喷射头。

7.一种压电元件的制造方法，其中，包括：

在振动板形成凹部的工序；

在所述振动板的所述凹部内形成第1电极的工序；

在所述振动板以及所述第1电极之上形成压电体层的工序；和

在所述压电体层之上形成第2电极的工序；

形成所述第1电极的工序包括：

以填充所述凹部的方式形成导电膜的工序；和

从所述导电膜侧进行研磨、进行平坦化的工序；

在所述平坦化的工序中，使所述振动板露出。

8.如权利要求7所述的压电元件的制造方法，其中：

所述平坦化的工序通过化学机械研磨来进行。

9.一种液滴喷射头的制造方法，其中：包括权利要求7或8所述的压电元件的制造方法。

10.一种液滴喷射装置的制造方法，其中：包括权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法。