[发明专利]光刻机的光路系统有效
| 申请号： | 201110259903.8 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102314094A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 袁伟 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02N6/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机的光路系统，包括激光器和遮光快门，其特征在于，所述光刻机的光路系统还包括光电效应模块，所述光电效应模块设置在所述遮光快门靠近激光器的表面上，当所述遮光快门处于关闭状态时，所述激光器发射的激光照射在所述光电效应模块的表面上。
2.如权利要求1所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述光电效应模块为光电转换器件。
3.如权利要求2所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述光电效应模块为半导体光伏发电器件。
4.如权利要求3所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述光电效应模块包括光伏组件，所述光伏组件通过外部充放电控制器与外部蓄电池连接。
5.如权利要求3所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述光电效应模块包括光伏组件，所述光伏组件通过外部逆变器进入电网。
6.如权利要求4或5所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述光伏组件为光伏电池方阵，由一个或者多个光伏电池片组成，当所述遮光快门处于关闭状态时，所述激光器发射的激光垂直照射在所述光伏组件的表面上，所述光伏组件发生光电效应，在电池的两端产生电动势，将光能转换成电能。
7.如权利要求1所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述遮光快门为旋转式开合快门或者移动式开合快门。
8.如权利要求1或7所述的光刻机的光路系统，其特征在于，所述遮光快门为金属片。
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