[发明专利]固体摄影元件、装置、设备及偏振元件的制造方法

权利要求书

1.一种固体摄影装置，具有多个固体摄影元件，该固体摄影元件具备：

(A)光电转换元件、及

(B)设置于光电转换元件的光入射侧的偏振元件，其中，

所述固体摄影装置具备偏振方位不同的两种以上的偏振元件，

各偏振元件具有从光电转换元件侧起，由条纹状的反射层、形成于反射层上的绝缘层、及以分开的状态形成于绝缘层上的多个断片构成的光吸收层的层叠结构。

2.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

条纹状的反射层的延伸的方向与用于消光的偏振方位一致，

条纹状的反射层的重复方向与用于透光的偏振方位一致。

3.如权利要求1或2所述的固体摄影装置，其中，

条纹状的反射层的延伸的方向上的反射层的长度比沿条纹状的反射层的延伸的方向的固体摄影元件的长度短。

4.如权利要求1～3中任一项所述的固体摄影装置，其中，

在光电转换元件的上方配置有芯片上透镜，

在芯片上透镜的上方设置有偏振元件。

5.如权利要求4所述的固体摄影装置，其中，

在将偏振元件和芯片上透镜之间的光轴方向的距离设定为D、将芯片上透镜的凹陷量设定为S、将偏振元件和芯片上透镜之间存在的介质的折射率设定为n₁、将邻接的偏振元件之间存在的间隙的宽度设定为2×R、将向偏振元件的光的入射角的最大值设定为θin-max时，满足

R≥(D+S)×tan[sin^-1(sin(θ_in-max)/n₁)]

6.如权利要求4或5所述的固体摄影装置，其中，

在位于芯片上透镜和偏振元件之间的平面内的区域，在位于邻接的芯片上透镜和芯片上透镜之间的区域设有遮光层。

7.如权利要求4～6中任一项所述的固体摄影装置，其中，

在芯片上透镜和偏振元件之间形成有，从芯片上透镜侧起，由平坦化层和无机材料构成的层间绝缘层。

8.如权利要求4～7中任一项所述的固体摄影装置，其中，

在光电转换元件和芯片上透镜之间配置有波长选择层。

9.如权利要求1～3中任一项所述的固体摄影装置，其中，

在光电转换元件的上方配置有芯片上透镜，

在光电转换元件和芯片上透镜之间设置有偏振元件。

10.如权利要求9所述的固体摄影装置，其中，

在芯片上透镜和偏振元件之间配置有波长选择层。

11.如权利要求10所述的固体摄影装置，其中，

在将构成条纹状的反射层的延伸的方向的光吸收层的断片的形成间距设定为P_ab-1、将条纹状的反射层的延伸的方向的光吸收层的断片的长度设定为L_ab时，根据通过波长选择层的光的波长，决定P_ab-1及L_ab。

12.如权利要求1～11中任一项所述的固体摄影装置，其中，

在将条纹状的反射层的延伸的方向上的光吸收层的断片的形成间距设定为P_ab-1、将条纹状的反射层的重复方向上的光吸收层的断片的形成间距设定为P_ab-2、将入射到偏振元件的光的最短波长设定为λ_min、将入射偏振元件的光通过的介质的折射率设定为n₀、将向偏振元件的光的入射角的最大值设定为θ_in-max时，满足

(P_ab-1²+P_ab-2²)^1/2≤[(λ_min/n₀)×cos(θ_in-max)]。