[发明专利]一种晶体生长制备系统无效

专利信息
申请号: 201110254128.7 申请日: 2011-08-31
公开(公告)号: CN102304753A 公开(公告)日: 2012-01-04
发明(设计)人: 王彪;王云华 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 禹小明;林伟斌
地址: 510275 *** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体生长 制备 系统
【权利要求书】:

1.一种晶体生长制备系统,包括石英筒(10)、设置于石英筒内的保温罩(20)以及设置于保温罩内部的坩埚(30),其特征在于:所述保温罩内在坩埚外围设有内层保温罩(21),所述石英筒底部与保温罩底部之间设有阻止热量向底部散失的圆盘(11)。

2.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩与内层保温罩之间的间隔为5-15mm。

3.根据权利要求2所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩与内层保温罩之间的间隔为5mm。

4.根据权利要求3所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩为圆柱状保温罩。

5.根据权利要求4所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩包括可拆装的上保温罩(201)和下保温罩(202)。

6.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩顶部设有圆孔(22)。

7.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩设有观察孔(23)。

8.根据权利要求7所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述内层保温罩设有缺口(24),该缺口与所述观察孔设置在同一直线上。

9.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述石英筒与保温罩之间设有锆沙层(40)。

10.根据权利要求1-9任一所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述石英筒底部与圆盘底部设有连通的底孔(25),底孔内设有与坩埚底部接触的热电偶(50),所述热电偶与欧陆表(60)连接,所述欧陆表通过数据线(71)与计算机(70)连接。

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