[发明专利]一种晶体生长制备系统无效
| 申请号: | 201110254128.7 | 申请日: | 2011-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN102304753A | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
| 发明(设计)人: | 王彪;王云华 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 禹小明;林伟斌 |
| 地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 晶体生长 制备 系统 | ||
1.一种晶体生长制备系统,包括石英筒(10)、设置于石英筒内的保温罩(20)以及设置于保温罩内部的坩埚(30),其特征在于:所述保温罩内在坩埚外围设有内层保温罩(21),所述石英筒底部与保温罩底部之间设有阻止热量向底部散失的圆盘(11)。
2.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩与内层保温罩之间的间隔为5-15mm。
3.根据权利要求2所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩与内层保温罩之间的间隔为5mm。
4.根据权利要求3所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩为圆柱状保温罩。
5.根据权利要求4所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩包括可拆装的上保温罩(201)和下保温罩(202)。
6.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩顶部设有圆孔(22)。
7.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述保温罩设有观察孔(23)。
8.根据权利要求7所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述内层保温罩设有缺口(24),该缺口与所述观察孔设置在同一直线上。
9.根据权利要求1所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述石英筒与保温罩之间设有锆沙层(40)。
10.根据权利要求1-9任一所述的晶体生长制备系统,其特征在于:所述石英筒底部与圆盘底部设有连通的底孔(25),底孔内设有与坩埚底部接触的热电偶(50),所述热电偶与欧陆表(60)连接,所述欧陆表通过数据线(71)与计算机(70)连接。
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