[发明专利]用于估计无重力形状的方法和装置

说明书

本申请要求于2010年8月27日提交的美国申请12/870134的优先权利益。

技术领域

本公开内容涉及用于估计柔性物体的无重力形状的方法和装置，所述柔性物体如用于显示设备(例如液晶显示器(LCD))中的那类薄玻璃板。

背景技术

诸如玻璃板之类的柔性物体的无重力形状的知识就理解和控制以下项是有价值的：1)用来制造该物体的过程，例如在玻璃板的情况下的下拉熔制法，和2)该物体在使用期间的性能，例如玻璃板在被真空夹持(chuck)至平坦平面时的性能。例如参见共同转让的美国专利7,509,218和PCT专利公布WO 2009/108302，该美国专利和PCT专利公布的内容均以引用的方式全部被纳入本文。

随着在显示设备中用作衬底的玻璃板变得更大和更薄，确定所述板的无重力形状变得尤其有挑战性。例如，用于液晶显示器的GEN 10衬底具有大于9平方米(2,880x3,130mm)的面积和0.7mm的厚度，甚至更薄的板变得越来越受欢迎。尽管美国专利7,509,218的“针床”(bed-of-nails)(BON)技术可用于这样的更大和更薄的板，但是随着玻璃板变得更大，获得高分辨率所需的测量组件的数量(即，可调节钉与测压元件组合的数量)变得相当大。这又导致高设备成本。此外，随着组件的数量增加，由于有缺陷的测量组件而导致的误差变得更普遍。此外，美国专利7,509,218的用于调节可调节钉的高度的优选算法将所述钉中的三个钉的位置固定。实践中，这样的固定高度导致形状误差集中在固定高度的钉所支承的板的位置，这可能损害形状确定的精确性。

本公开内容提供1)用于对于给定数量的测量组件获得更高分辨率的方法和装置，2)用于确认形状确定的可靠性的方法和装置，以及3)用于将形状误差分摊在整组可调节钉/测压元件组件上的方法和装置。这些特征可单独使用或组合使用，因而可用来解决与使用BON技术确定无重力形状有关的上述问题中的一些或全部。

发明内容

根据第一方面，公开了一种获得柔性物体(140)的无重力形状的估计的方法，该方法包括：

(I)将柔性物体(140)支撑在多个高度可调节的钉(110)上；

(II)通过迭代地执行以下步骤(A)和(B)调节可调节的钉(110)的高度：

(A)测量在每个钉(110)处柔性物体(140)的重量(112)；以及

(B)基于测量重量调节钉(110)的高度(114)；

(III)当迭代次数、测量重量和/或高度变化满足一个或多个预定标准时，终止步骤(II)的迭代；

(IV)在不从钉(110)上移走柔性物体(140)的情况下，在步骤(III)之后使用具有比任意两个钉(110)之间的最小间距更精细的空间分辨率的测量系统(200)测量柔性物体的形状；以及

(V)从步骤(IV)的测量形状减去支撑在钉上的平坦物体的计算形状，该平坦物体具有与柔性物体(140)相同的尺寸和机械性能，所得到的差为柔性物体(140)的无重力形状的估计。

根据第二方面，公开了一种获得柔性物体(140)的无重力形状的估计的方法，该柔性物体(140)具有相反的第一表面和第二表面，该方法包括：

(I)将柔性物体(140)的第一表面支撑在多个高度可调节的钉(110)上；

(II)通过迭代地执行以下步骤(A)和(B)调节可调节的钉(110)的高度(114)：

(A)测量在每个钉(110)处柔性物体(140)的重量(112)；以及

(B)基于测量重量调节钉(110)的高度(114)；

(III)当迭代次数、测量重量和/或高度变化满足一个或多个预定标准时，终止步骤(II)的迭代；

(IV)在不从钉(110)上移走柔性物体(140)的情况下，在步骤(III)之后使用具有比任意两个钉(110)之间的最小间距更精细的空间分辨率的测量系统(200)测量柔性物体的形状；

(V)将柔性物体(140)的第二表面支撑在上述多个高度可调节的钉(110)上；

(VI)通过迭代地执行以下步骤(A)和(B)调节可调节的钉(110)的高度(114)：

(A)测量在每个钉(110)处柔性物体(140)的重量(112)；以及

(B)基于测量重量调节钉(110)的高度(114)；

(VII)当迭代次数、测量重量和/或高度变化满足一个或多个预定标准时，终止步骤(VI)的迭代；