[发明专利]一种太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法无效
| 申请号： | 201110251742.8 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102299204A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 杨建国;许颖;励旭东;张东;刘玉海 | 申请（专利权）人： | 巨力新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/06 |
| 代理公司： | 保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 13121 | 代理人： | 王葶葶 |
| 地址： | 072550*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 工艺 中的 出炉 方法 | ||
1.一种太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，对完成扩散制备p-n结后的硅片出炉，其包括步骤(1)电机带动桨提升载有硅片的石英舟到高位；其特征在于：其还包括以下步骤：
(2)电机以700～1200mm/min的速率带着载有硅片的石英舟在扩散炉内运行，行程为600～800mm；
(3)电机以300～600mm/min的速率带着载有硅片的石英舟在扩散炉内向炉体外运行，行程为1000～1500mm；
(4)电机以700～1200mm/min的速率带着载有硅片的石英舟在炉体外运行，行程为600～1300mm。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，其特征在于：所述的步骤(2)中电机的速率为800～1000mm/min，行程为600～700mm。
3.根据权利要求1或者2所述的太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，其特征在于：所述的步骤(3)中电机的速率为500～600mm/min，行程为1000～1400mm。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，其特征在于：所述的步骤(4)中电机的速率为800～1000mm/min，行程为600～700mm。
5.根据权利要求1或者2所述的太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，其特征在于：所述的步骤(4)中电机的速率为800～1000mm/min，行程为600～700mm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
