[发明专利]多晶硅生产中电解制氢工艺及其氧气回收系统

权利要求书

1.一种多晶硅生产中电解制氢工艺，其特征在于，包括以下步骤：

s1、电解碱溶液以得到粗氢和氧气；

s2、对所述粗氢经过纯化装置后依次进行除氧、脱水、干燥以得到纯度高于99.999％的纯氢，并得到浓度高于99％的氧气；以及

s3、对所述浓度高于99％的氧气回收并对其进行稀释以获得含有氧气含量为21-25％的富氧空气并送入燃烧设备中进行富氧燃烧。

2.根据权利要求1所述的电解制氢工艺，其特征在于，所述步骤s3包括：

s31、控制回收的浓度高于99％的氧气压力在2.00MPa；

s32、将压力为2.00MPa的氧气进行稳压降压到0.30MPa；

s33、鼓入空气与浓度高于99％的氧气进行混合；以及

s34、对与空气混合的氧气进行浓度的调节以获得氧气含量为21-25％的富氧空气并送入燃烧设备燃烧。

3.根据权利要求1所述的电解制氢工艺，其特征在于，所述步骤s31和步骤s32之间进一步包括：

s311、过滤氧气并对氧气流量进行计量。

4.一种用于根据权利要求1中的多晶硅生产中电解制氢工艺中的氧气回收系统，其特征在于，包括：

氧气缓冲罐，所述氧气缓冲罐用于接收电解制氢过程中生成的浓度高于99％的氧气；

压力调节组件，所述压力调节组件连接至所述氧气缓冲罐以调节所述氧气缓冲罐内的氧气压力在2.00MPa；

稳压组件，所述稳压组件连接在所述氧气缓冲罐的下游且用于将从所述氧气缓冲罐内输出的氧气压力稳压降到0.30MPa；

混氧器，所述混氧器设在所述稳压组件的下游且接收氧气；

鼓风机，所述鼓风机向所述混氧器内通入空气以与所述氧气混合；和

浓度调节组件，所述浓度调节组件与所述混氧器连接以调节混氧器内的氧气浓度。

5.根据权利要求4所述的氧气回收系统，其特征在于，所述压力调节组件包括：

安全阀，所述安全阀连接至所述氧气缓冲罐上；和

压力调节阀，所述压力调节阀连接至所述氧气缓冲罐且控制所述氧气缓冲罐内的氧气压力。

6.根据权利要求4所述的氧气回收系统，其特征在于，所述稳压组件包括：

稳压阀，所述稳压阀设在所述氧气缓冲罐的下游以将所述氧气缓冲罐内输出的氧气压力稳压降到0.30MPa；和

压力泄放阀组，所述压力泄放阀组连接在所述稳压阀的下游且当氧气压力高于0.35MPa时打开泄压。

7.根据权利要求6所述的氧气回收系统，其特征在于，进一步包括：

过滤器，所述过滤器设在所述氧气缓冲罐和所述稳压阀之间以过滤从氧气缓冲罐内流出的氧气。

8.根据权利要求6所述的氧气回收系统，其特征在于，进一步包括：

第一气体流量计，所述第一气体流量计设在所述压力泄放阀组的下游以对氧气流量进行计量；和

第二气体流量计，所述第二气体流量计设在所述鼓风机的下游以对氧气流量进行计量。

9.根据权利要求4所述的氧气回收系统，其特征在于，所述浓度调节组件包括：

浓度调节阀，所述浓度调节阀设在所述稳压组件和所述混氧器之间；

第一浓度检测装置，所述第一浓度检测装置设在所述混氧器的下游用于检测混合气体中氧气的浓度并反馈给所述浓度调节阀以调整氧气流量；

气动切断阀，所述气动切断阀设在所述浓度调节阀和所述混氧器之间，当混合气体中氧气含量大于25％所述气动切断阀时自动关闭；和

第二浓度检测装置，所述第二浓度检测装置设在所述混氧器的下游用于检测混合气体中氧气的浓度并反馈给所述气动切断阀。

10.根据权利要求9所述的氧气回收系统，其特征在于，进一步包括：

手动切断阀，所述手动切断阀设在所述气动切断阀和所述混氧器之间；和

止回阀，所述止回阀设在所述气动切断阀与所述手动切断阀之间。