[发明专利]用于真空室模块的狭缝阀

说明书

技术领域

本发明大体上涉及真空室模块的领域，并且更特定而言涉及一种与该模块一起使用的改进的狭缝阀(slit valve)。

背景技术

薄膜光伏(PV)模块(也称为“太阳能电池板”)的生产通常涉及将诸如玻璃面板这样的基质(substrate)传送进出气相沉积室，其中，半导体材料的薄膜层沉积在基质的表面上。该工艺通常涉及通过阀输送基质进出一个或多个真空室模块。阀产生锁定(基质通过其而传送)，并且大体上限定槽口，该槽口略大于在阀的打开位置下基质的截面。因此，该阀在本领域中通常称为“狭缝阀”。

常规狭缝阀通常为自给式单元(self-contained unit)，其包括安装到真空室模块上的壳体。这些阀不是通用的并且可相当昂贵。对于入口阀和出口阀需要不同的阀构造。另外，将阀壳体配合到模块壳体上需要精确的公差，以确保真空工艺期间阀的正确操作以及真空室模块的完整性。修理或更换常规狭缝阀可导致模块较长的停机时间，或者保持更换阀的现存库存的较大费用。

因此，本行业将受益于改进的狭缝阀设计，该设计特别适于真空室模块，其简单、稳健并消除常规狭缝阀的某些缺点。

发明内容

本发明的方面和优点将在下面的描述中部分地阐述，或者可从该描述中显而易见，或者可通过实施本发明而被教导。

根据本发明的方面，一种狭缝阀组件设置为用于附连到任何方式的真空室模块上，例如用于太阳能电池板的制造的气相沉积处理线路中所用的模块。阀组件设置为用以在闭合位置密封模块的壁部中的槽开口，以及在打开位置提供通过槽开口的通路以用于使基质通过模块。阀组件包括可旋转的轴，其在打开旋转位置与闭合旋转位置之间被旋转促动器驱动。伸长的密封板设有轴并且具有密封面，该密封面设置为用于在轴的闭合旋转位置中在槽开口上抵靠模块壁部密封。至少一个臂部部件使密封板可操作地连接到轴上。多个间隔开的臂部部件可用于该目的。臂部部件固定到轴上以便与轴一起旋转并且在打开旋转位置与闭合旋转位置之间移动密封板。臂部部件可枢转地附连到密封板上，并且密封板相对于臂部部件偏置(即，通过弹簧或其它偏置元件)至铰接位置。在这样的方式下，当轴朝闭合旋转位置旋转时，密封板的端部初始地接合模块壁部，并且在轴继续旋转至闭合旋转位置时密封板相对于模块壁部枢转至平行密封位置。

在特定的实施例中，可压缩的密封件设置在密封板的密封面上，例如O形环与限定在密封面中的凹槽承座。

在还有另一实施例中，多个支承架(bearing support)可沿可旋转的轴设置以用于将该轴安装在模块壁部上。如果阀组件构造为内部狭缝阀从而使得密封板布置在模块内并抵靠模块壁部的内表面密封，支承架可具有支座构件以便延伸通过模块壁部中的孔而安装到模块壁部的外表面上。如果阀组件构造为外部狭缝阀从而使得密封板抵靠模块壁部外表面密封，支承架可安装到模块壁部的外表面上。

上述狭缝阀组件的实施例的变型和修改处于本发明的范围和精神内，并且可在本文中进一步描述。

本发明还包括用于在真空中处理基质的任何方式的真空室模块。该模块包括具有端壁的壳体，槽口限定于其中以用于使基质进出壳体。根据本文所述的任何实施例的狭缝阀组件设置在端壁的其中至少一个上。在独特的实施例中，狭缝阀组件设置在模块的入口端壁和出口端壁处。

上述气相室模块的实施例的变型和修改处于本发明的范围和精神内，并且可在本文中进一步描述。

参照下面的描述和所附权利要求，本发明的这些与其它特征、方面和优点将变得更好理解。

附图说明

在参照附图的说明书中阐明了本发明的完全和充分的公开，包括其最佳模式，在附图中：

图1为根据本发明的方面的包括阀组件的一示例性气相沉积系统的正视图；

图2为狭缝阀组件的一个实施例的透视图；

图3为图2的阀组件的构件的侧部剖视图；

图4为包括入口和出口狭缝阀组件的模块的透视图；

图5为模块的内部的透视图；以及，

图6至图8为狭缝阀组件的一个实施例的连续操作视图。

项目清单