[发明专利]一种硅烷尾气净化装置

说明书

技术领域

本发明属于废气处理领域，特别涉及到一种硅烷尾气净化装置。

背景技术

电池片生产过程的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition-----等离子体增强化学气相沉积法)环节中，会产生含有硅烷的尾气。硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体，该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾，因此必须经过处理后才能排入大气。传统的硅烷尾气处理方法是采用初步燃烧+直接通入水池的方法，有很高的危险性和处理不稳定性。

发明内容

本发明的目的是提出一种硅烷尾气净化装置，以更好地处理硅烷尾气。

本发明的硅烷尾气净化装置由燃烧塔和废气处理塔组成，关键在于所述燃烧塔下部设置有进气口，上部设置有出气口，燃烧塔内设置有点火装置；所述废气处理塔的底部设置有进风口，顶部设置有出风口，废气处理塔内部设置有由填料支撑网板及其上部的填料构成的填料层；所述填料层有两个并上下设置，所述两个填料层之间设置有喷嘴，所述喷嘴通过耐酸碱的管路及水泵与供水水箱相连；所述燃烧塔的出气口与废气处理塔的进风口相通。

硅烷尾气由管道进入燃烧塔，经过燃烧塔内的初级燃烧处理后，再进入废气处理塔，并在塔内向上运动，喷嘴喷出的液滴向下运动，对废气进行洗涤。下部的填料层可以增大液体与气体的接触面积，使气体与液滴充分接触，达到彻底净化效果。干净的气体经过上层的填料层脱水后排出。

进一步地，所述废气处理塔内的填料层与进风口之间设置有第二喷嘴，所述第二喷嘴通过耐酸碱的管路及水泵与供水水箱相连。这样在废气经过下部的填料层之前时可以对废气进行初级降温除尘，从而减少废气中的热量及灰尘对填料层的影响。

进一步地，所述废气处理塔内的填料层中的填料为特拉瑞填料，特拉瑞填料是一种高效率，低压损的填充材，外形犹如螺丝缠绕而成，其吸附效果优于管型填充材，且在同等体积下可降低40％～50％的静压损失，在同等压降下体积可减少35％～50％，且空隙率大物质转移系数高，其处理效率比其他型填充材提高26％～35％。

进一步地，所述燃烧塔的下部为漏斗形，所述燃烧塔的底部设置有排污口。硅烷燃烧后的粉尘会积聚在排污口处，当运行一段时间后，打开排污口进行清理粉尘。

进一步地，所述燃烧塔设置有压缩空气充气口和氮气充气口，所述压缩空气充气口和氮气充气口均设置有流量控制器。硅烷尾气进入燃烧塔的同时也通入压缩空气和氮气，压缩空气用来推助硅烷尾气的燃烧反应，氮气则用来吹散硅烷燃烧之后产生粉尘，不让其粘到燃烧塔上。压缩空气及氮气都配有流量控制器，以控制气体的流入体积及速度。

本发明的硅烷尾气净化装置结构简单，处理集中化，成本低，操作维护方便，废气处理稳定、高效、彻底，适用于电池等行业的废气处理。

附图说明

图1是本发明的硅烷尾气净化装置中的燃烧塔的结构示意图。

图2是本发明的硅烷尾气净化装置中的废气处理塔的结构示意图。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施实例的描述，对本发明的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明。

实施例1：

本实施例的硅烷尾气净化装置由燃烧塔1和废气处理塔2组成.

如图1所示，燃烧塔1下部设置有进气口11，上部设置有出气口12，燃烧塔内设置有点火装置，燃烧塔1的下部为漏斗形，燃烧塔的底部设置有排污口13。

燃烧塔1设置有压缩空气充气口14和氮气充气口15，压缩空气充气口14和氮气充气口15均设置有流量控制器(图中未画出流量控制器及点火装置)。

如图2所示，废气处理塔2的底部设置有进风口21，顶部设置有出风口22，废气处理塔内部设置有由填料支撑网板及其上部的填料构成的填料层23、24；所述填料层23、24上下设置，填料层23、24之间设置有喷嘴25，喷嘴25通过耐酸碱的管路及水泵与供水水箱相连；废气处理塔内的填料层23与进风口21之间设置有第二喷嘴26，第二喷嘴26通过耐酸碱的管路及水泵与供水水箱相连(图中未画出水泵与供水水箱)。

燃烧塔的出气口12与废气处理塔的进风口21相通。