[发明专利]机台调机时机械手臂存取晶片相对位置的监测装置及其监测方法

权利要求书

1.一种机台调机时机械手臂存取晶片相对位置的监测装置，其特征在于，包括检测用晶片和位移感测器，所述位移感测器包括控制器和与所述控制器连接的感测头，所述感测头设置在所述检测用晶片上。

2.根据权利要求1所述的机台调机时机械手臂存取晶片相对位置的监测装置，其特征在于，所述控制器连接有三个所述感测头，所述三个感测头均设置在所述检测用晶片上。

3.根据权利要求2所述的机台调机时机械手臂存取晶片相对位置的监测装置，其特征在于，所述感测头均匀地分布在所述检测用晶片的同一圆周上。

4.根据权利要求3所述的机台调机时机械手臂存取晶片相对位置的监测装置，其特征在于，所述圆周离所述检测用晶片的圆心约5cm。

5.一种利用权利要求1-4中任一项所述的监测装置进行监测的方法，其特征在于，包括：

步骤1：将检测用晶片插设于晶片盒中待存取晶片的上一格晶片槽中；

步骤2：打开位移感测器，设定机械手臂偏离范围的上限值和下限值；

步骤3：启动机械手臂，对待存取晶片进行存取；

步骤4：检测用晶片上的感测头对待存取晶片的位置进行监测，控制器接收并显示监测数据，当监测到机械手臂偏离所述上限值或下限值时，控制器发出警报。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，步骤4中所述感测头还对待存取晶片的水平角度进行监测。