[发明专利]一种消除表面静电的流体压紧封装装置及封装方法有效
| 申请号: | 201110241760.8 | 申请日: | 2011-08-22 | 
| 公开(公告)号: | CN102956832A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 | 
| 发明(设计)人: | 韦学志;陈勇辉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 | 
| 主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52 | 
| 代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 | 
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 | 
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 | 
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 消除 表面 静电 流体 压紧 封装 装置 方法 | ||
1.一种消除表面静电的流体压紧封装装置,包括:
封装结构,所述封装结构具有第一基板,第二基板,及设置在所述第一基板和所述第二基板之间用于形成至少一腔室的熔料;
辐射源,用于加热所述熔料,使所述熔料与所述第一基板和所述第二基板的连接面处结合,使所述腔室形成气密封装结构;
流体源,所述流体源提供流体束,所述流体束作用于所述第一基板,用于压紧所述第一基板与所述第二基板之间的所述熔料;
其特征在于,所述流体源内还包括离子发生装置,用于激发所述流体束以产生正负离子。
2.如权利要求1所述的流体压紧封装装置,其特征在于,所述离子发生装置是电晕放电装置或光照射型离子发生装置。
3.如权利要求1所述的流体压紧封装装置,其特征在于,所述电晕放电装置是直流放电电晕放电装置或脉冲直流放电电晕放电装置或交流放电电晕放电装置。
4.如权利要求1所述的流体压紧封装装置,其特征在于,所述流体源包括一个或多个喷射头,以及与所述喷射头相连接的喷射流体管路。
5.如权利要求4所述的流体压紧封装装置,其特征在于,所述离子发生装置通过密封绝缘垫圈与所述喷射头连接。
6.如权利要求1所述的封装装置,其特征在于,所述熔料包括低温熔融玻璃料。
7.如权利要求6所述的封装装置,其特征在于,所述熔料进一步包括以下成分中的至少一种:有机成膜载体、有机接合剂、分散剂、表面活性剂。
8.如权利要求1所述的封装装置,其特征在于,所述第二基板包含至少一个有机发光器件的像素区域,所述第一基板设置在所述第二基板的像素区域上,所述熔料设置于封装线上,所述封装线位于非像素区域。
9.如权利要求1所述的封装装置,其特征在于,所述第一基板是玻璃基板。
10.如权利要求1所述的封装装置,其特征在于,所述流体束是含非腐蚀性成分的气体束。
11.如权利要求10所述的封装装置,其特征在于,所述气体束是惰性气体束。
12.如权利要求4所述的流体压紧封装装置,其特征在于,所述喷射头为单个或多个点状喷射头、线状喷射头或面状喷射头,所述喷射头的布置方式为单点布置或多点布置。
13.如权利要求12所述的流体压紧封装装置,其特征在于,所述多点布置是线阵排列布置或面阵排列布置。
14.一种消除表面静电的封装方法,包括以下步骤:
将第一基板放置于具有熔料的第二基板上,使所述第一基板、所述第二基板以及所述熔料共同形成至少一腔室;
设置流体源,用于提供流体束施加力在所述第一基板上;
提供辐射源,在所述流体束提供压力的同时,加热所述熔料,使所述腔室形成气密封装结构;
其特征在于,所述流体源内还包括离子发生装置,用于激发所述流体束以产生正负离子。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司,未经上海微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110241760.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:以太网过流过压防护装置
 - 下一篇:波长转换结构及其制造方法以及发光装置
 
- 同类专利
 
- 专利分类
 
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





