[发明专利]一种基于相干激光的表面微结构成形系统

权利要求书

1.一种基于相干激光的表面微结构成形系统，其特征在于，包括依次光路设置的激光发生器、光束整形模块、第一半反射镜、第二全反射镜，在第一半反射镜和第二全反射镜的下面设置有电控移动工作台，电控移动工作台用于放置基质，所述第一半反射镜和第二全反射镜设置有伺服电机，所述电控移动工作台、伺服电机和激光发生器与计算机连接。

2.根据权利要求1所述的基于相干激光的表面微结构成形系统，其特征在于，所述激光发生器包括依次连接的扩束镜、部分反射镜、调Q开关、聚光腔、全反射镜。

3.根据权利要求2所述的基于相干激光的表面微结构成形系统，其特征在于，所述伺服电机为数字控制伺服电机。

4.根据权利要求3所述的基于相干激光的表面微结构成形系统，其特征在于，所述光束整形模块采用非球面透镜组整形系统或者微透镜阵列整形系统。