[发明专利]容器保管设备

权利要求书

1. 一种容器保管设备，具备运送用于收容基板的容器的运送机构，和保管由上述运送机构运送的容器的容器保管部，其特征在于，

上述容器保管部具备：以固定状态设置的固定框体，和在保管上述容器的保管位置以及在与上述运送机构之间收受上述容器的收受位置的范围内相对于上述固定框体移动自如地设置的容器支撑体；

设有气体供给机构，通过气体供给管向由位于上述保管位置的上述容器支撑体支撑的上述容器供给惰性气体；

上述气体供给管具备设在上述固定框体一侧的固定侧部分，以及与上述容器支撑体一体移动自如地设在上述容器支撑体一侧的移动侧部分；

设有连结体，通过上述容器支撑体从上述收受位置向上述保管位置的移动而连结上述固定侧部分与上述移动侧部分，并且通过上述容器支撑体从上述保管位置向上述收受位置的移动而解除上述固定侧部分与上述移动侧部分的连结，使上述移动侧部分离开上述固定侧部分。

2. 如权利要求1所述的容器保管设备，其特征在于，还具备：

检测上述容器支撑体位于上述保管位置的保管位置检测机构；

检测容器由上述容器支撑体支撑的支撑状态检测机构；

惰性气体供给控制机构，基于上述保管位置检测机构以及上述支撑状态检测机构的检测信息，在上述容器支撑体位于上述保管位置、且容器由上述容器支撑体支撑的情况下，容许上述气体供给管进行的惰性气体的供给，在上述容器支撑体未位于上述保管位置或者容器未由上述容器支撑体支撑的情况下，禁止上述气体供给管进行的惰性气体的供给。

3. 如权利要求1或2所述的容器保管设备，其特征在于，

上述连结体具备：可动喷嘴，其设在上述固定侧部分以及上述移动侧部分的一侧，在上述保管位置与上述收受位置之间的上述容器支撑体的移动方向上进退移动自如，并且由施力机构施力而向突出侧复位；和凹入部，其设在上述固定侧部分以及上述移动侧部分的另一侧，上述可动喷嘴在其中插拔自如；

在上述可动喷嘴上具备内部流路，在上述可动喷嘴插入上述凹入部中的状态下连通上述固定侧部分的固定侧气体流路与上述移动侧部分的移动侧气体流路，惰性气体在该内部流路中沿着上述容器支撑体的移动方向流通自如；

具备密封体，在上述可动喷嘴插入上述凹入部的状态下将上述凹入部与上述可动喷嘴之间密封。

4. 如权利要求3所述的容器保管设备，其特征在于，

上述内部流路由在上述容器支撑体的移动方向上贯通上述可动喷嘴的内部的直线状的流路构成。

5. 如权利要求3所述的容器保管设备，其特征在于，

上述内部流路具备：直线状的第1流路部分，在上述容器支撑体的移动方向上从上述可动喷嘴的突出侧端部连通到后退侧端部之前；和第2流路部分，在上述容器支撑体的移动方向上，上述可动喷嘴的后退侧，在上述可动喷嘴的径向上连通上述第1流路部分与上述可动喷嘴的外部；

具备封堵开放机构，在上述容器支撑体位于上述收受位置的情况下封堵上述第2流路部分，并且在上述容器支撑体位于上述保管位置的情况下开放上述第2流路部分。

6. 如权利要求1或2所述的容器保管设备，其特征在于，

上述运送机构由沿着经由相对于上述容器保管部的容器收受部位的移动路径移动自如、且具备保持容器的保持部的物品运送用的移动车构成；

上述保管位置设定在相对于上述移动路径离开的位置；

上述收受位置设定在比上述保管位置更接近上述移动路径的位置；

设有支撑上述容器支撑体在上述保管位置与上述收受位置之间位置变更自如的容器支撑体支撑机构，和接近停止在上述容器收受部位的上述移动车的接近位置与离开停止在上述容器收受部位的上述移动车的离开位置之间移动自如的被操作体；

上述被操作体与上述容器支撑体支撑机构联动，从而在上述接近位置将上述容器支撑体操作到上述保管位置，并且在上述离开位置将上述容器支撑体操作到上述收受位置；

上述移动车具备推拉操作式的操作机构，通过从上述移动车向突出的一侧的移动，将上述被操作体从上述接近位置推动操作到上述离开位置，并且通过向上述移动车后退的一侧的移动，将上述被操作体从上述离开位置拉回操作到上述接近位置。

7. 如权利要求6所述的容器保管设备，其特征在于，

上述移动路径以及上述固定框体设在天花板一侧；

上述容器支撑体支撑机构由将上述容器支撑体的上端部相对于上述固定框体滑动自如地垂吊支撑的滑动导向机构构成；

上述容器支撑体构成为自如地载置支撑容器，并且构成为以从其移动方向看过去左右方向的中央部由上述滑动导向机构垂吊支撑的状态移动自如；

上述固定框体形成为从上述容器支撑体的移动方向看过去左右方向的长度比上述容器支撑体相同方向上的长度短；

上述被操作体配置在从上述容器支撑体的移动方向看过去为上述固定框体的左右方向的一侧；

上述气体供给管的上述连结体配置在从上述容器支撑体的移动方向看过去为上述固定框体的左右方向的另一侧；

上述气体供给管的上述移动侧部分配置在从上述容器支撑体的移动方向看过去为上述容器支撑体的左右方向的另一侧的横向旁侧。