[发明专利]硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法及其设备

权利要求书

1.一种硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，包含以下步骤：

步骤A：将预先经过脱水后的一滤饼置入一处理槽中，该滤饼是自硅晶圆切割研磨后所产生的浆状废油泥进行压滤后所生成，并且至少含有硅粉、碳化硅以及由聚乙二醇为主所构成的残留切削液；

步骤B：在该处理槽内加入一催化剂，使该滤饼被混合稀释成一工作液体，且可促使工作液体中的硅与该催化剂产生催化反应后，以生成固态的二氧化硅及气态的氢气；

步骤C：将处理槽内的氢气抽引入一集气槽内压缩储置；

步骤D：利用比重分离方式在已稀释污泥浓度后的工作液体之中，更进一步地分离出其内的硅及碳化硅，以便选别回收；

步骤E：将选别出硅及碳化硅的工作液体，再利用膜过滤方式进行固液分离，促使该工作液体能被分离成固态的二氧化硅及液态的水、聚乙二醇；以及

步骤F：将液态的水及聚乙二醇再经过逆渗透处理后，而获得可再利用的水以及以聚乙二醇为主成份的回收切削液。

2.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤B时，所加入的催化剂为水。

3.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤E时，所使用的固液分离是采用圆型平板UF膜来进行分离。

4.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤F之后，可将经过逆渗透回收后的水，再引回该处理槽中，供步骤B的催化剂来使用。

5.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤F之后，液态的聚乙二醇再以蒸馏方式除去其残留水分及废油，以形成可供再使用的再生油。

6.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤F时，是以RO或NF膜来进行逆渗透处理。

7.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤B时，还包含有在该处理槽内打入加压气体，以混合成该工作液体。

8.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤D之后，更具有将选别后的硅及碳化硅经过干燥处理，以便包装回收。

9.如权利要求1所述的硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理方法，其特征在于，在步骤E时，是以负压吸力来抽取工作水体中的水及聚乙二醇。

10.一种硅晶圆切割研磨废弃物的回收处理设备，其特征在于，包含：

 一处理槽，为密闭式的容器，用以容置废弃滤饼及水液混后的工作液体，具有一高于液面高度的投料口、一用以抽引氢气的排气口，以及一曝气孔；

一集气槽，用来回收产生于该处理槽内的氢气；

一过滤槽，具有一伸缩管，该伸缩管自外部延伸入该处理槽内，其底端具有一活动吸嘴，用以将工作液体内的水、二氧化硅及聚乙二醇等液体抽送至该过滤槽内；

一固液分离单元，为圆型平板UF膜组并设置在该过滤槽内，具有多个UF膜、组串有前述UF膜且呈水平可枢转的一集液管、一位于该过滤槽外部用以带动UF膜以集液管为中心转动的马达，以及一用来唧取透过UF膜且汇集到该集液管内液体的抽油泵；以及

一逆渗透过滤单元，接设在该抽油泵的出水端，用以进一步地分离出水及浓缩的聚乙二醇，而获得可回收再利用的水及以聚乙二醇为主成份的再生油，该逆渗透过滤装置具有一使回收的水可借着该回水管路抽引回该处理槽内的回水管路。