[发明专利]液晶显示屏含铝膜的蚀刻液无效
| 申请号： | 201110238648.9 | 申请日： | 2011-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN102304714A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液晶显示屏 含铝膜 蚀刻 | ||
1.一种蚀刻液，包括磷酸、硝酸、非离子表面活性剂、有机酸盐和水。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液由所述磷酸、硝酸、非离子表面活性剂、有机酸盐和水组成。
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于：所述非离子表面活性剂为司盘类非离子表面活性剂。
4.根据权利要求3所述的蚀刻液，其特征在于：所述司盘类非离子表面活性剂选白式I所示失水山梨醇单月桂酸酯、式II所示失水山梨醇棕榈酸酯和式III所示失水山梨糖醇单硬脂酸酯中的至少一种，
式I
式II
式III。
5.根据权利要求1-4任一所述的蚀刻液，其特征在于：所述有机酸盐为式IV所示邻三氟甲基苯甲酸钠；
式IV
所述水为去离子水。
6.根据权利要求1-5任一所述的蚀刻液，其特征在于：所述非离子表面活性剂占所述蚀刻液总重的百分比浓度为0.01-5％，优选为0.1-2％；
所述有机酸盐占所述蚀刻液总重的百分比浓度为0.5-15％，优选为1-5％；
所述磷酸占所述蚀刻液总重的百分比浓度为20-42％，优选为26-37％；
所述硝酸占所述蚀刻液总重的百分比浓度为0.65-20％，优选为3.25-13％；
余量为所述水。
7.一种制备权利要求1-6任一所述蚀刻液的方法，包括如下步骤：将权利要求1-6任一所述原料混匀，得到所述蚀刻液。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述制备权利1-6任一所述蚀刻液的方法，还包括如下步骤：在所述混匀步骤之后，将所述蚀刻液过滤。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：所述过滤步骤中，滤网孔径不大于0.2μm，优选0.2μm。
10.权利要求1-6任一所述蚀刻液在蚀刻含铝膜中的应用。
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