[发明专利]电加热炉

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路板和微机电系统的封装领域，尤其涉及用于集成电路和微机电系统的封装领域所使用的电加热炉。

背景技术

随着MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统，以下简称MEMS)技术的发展以及IC(Integrated Circuit，集成电路，以下简称IC)领域产品的不断更新，对产品生产加工中涉及到加热工艺部分的技术要求越来越高，而且要求能在一定程度上实现智能化控制。MEMS领域和IC领域中电加热炉的应用十分广泛，其关键技术是保证电加热炉温度的恒定和高精度控制，因此高精度恒温加热方式的研究成为重点。传统的电加热炉包括炉体、均匀铺设于炉体内的电热丝、设置于电热丝上方的料架、用于覆盖料架的顶盖以及炉体外壳。使用时，将待加热产品放置于料架上，盖上顶盖，将电热丝通电加热即可。这种传统结构的电加热炉能实现很大平面内的加热要求，但大平面炉体内温度的恒温均匀性较差，比如通常会发生炉内中心区域温度较高，周边区域温度较低，且周边区域不同位置的温度也不同。大平面炉体还很难实现加热面上温度的高精度控制，因此，难以保证被加热产品温度的恒定均匀，容易造成产品质量参差不齐。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种能够实现精密控制且恒温均匀的加热炉。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种能保持温度恒定的电加热炉。

为解决上述问题，本发明揭示了一种电加热炉，包括炉体、电热丝阵列、料架、炉体外壳和顶盖，所述炉体的中空腔室被分隔为若干加热区，其中每一个加热区内各设置有电热丝阵列和温度传感器，所述温度传感器和电热丝阵列分别与温度控制电路连接。

优选地，所述炉体的中空腔室被分隔为5个加热区，分别为第一加热区、第二加热区、第三加热区、第四加热区和第五加热区，所述第一加热区设置于所述炉体的中空腔室的中心，所述第二加热区、第三加热区、第四加热区和第五加热区围绕所述第一加热区排布。

优选地，所述第一加热区的面积比其它加热区的面积小，且设置于所述第一加热区的电热丝阵列比设置于其它加热区的电热丝阵列短。

优选地，所述温度传感器为耐高温温度传感器。

优选地，所述电热丝阵列均匀排布于所述加热区内。

优选地，所述料架为铜质平面。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明所揭示的电加热炉的炉体的中空腔室被分隔为若干加热区，使电加热炉整体的恒温均匀性较好。并且，其中每一个加热区内各设置有电热丝阵列和温度传感器，所述温度传感器和电热丝阵列分别与温度控制电路连接，通过温度传感器反馈各加热区内的温度，并通过温度控制电路将加热区内的温度控制在预先设定的温度范围内，以此实现电加热炉温度的精密控制，保证电加热炉内温度的恒定。

附图说明

为了清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明优选实施例中电加热炉的立体结构示意图；

图2是本发明优选实施例中电加热炉的炉体的内部结构示意图。

其中：1、炉体；10、炉体外壳；11、底板；12、侧面板；13、隔离板；2、电热丝阵列；3、料架；5、温度传感器；61、第一加热区；62、第二加热区；63、第三加热区；64、第四加热区；65、第五加热区。

具体实施方式

本发明揭示了一种电加热炉，包括炉体、电热丝阵列、料架、炉体外壳和顶盖，所述炉体的中空腔室被分隔为若干加热区，其中每一个加热区内各设置有电热丝阵列和温度传感器，所述温度传感器和电热丝阵列分别与温度控制电路连接。通过所述温度传感器反馈各加热区内的温度，并通过温度控制电路将加热区内的温度控制在预先设定的温度范围内，以此实现电加热炉温度的精密控制，保证电加热炉温度的恒定。

下面结合附图对本发明实施例中的技术方案进行详细地描述。