[发明专利]一种塑封元件芯片倾斜的判别方法无效
申请号: | 201110236937.5 | 申请日: | 2011-08-18 |
公开(公告)号: | CN102419439A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 纪强 | 申请(专利权)人: | 上海华碧检测技术有限公司 |
主分类号: | G01S15/02 | 分类号: | G01S15/02;G01S15/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200433 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 塑封 元件 芯片 倾斜 判别 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种塑封元件芯片倾斜的判别方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
A、将待测元件水平放入超声扫描显微镜的测试区,调整好超声扫描显微镜的扫描参数,聚焦在元件芯片的表面扫描;
B、在待测元件芯片的四个角上选取四个点,做定点的超声波扫描;
C、根据所述四个点超声扫描时声波传播的时间或者传播距离,判断出元件内部的芯片是否发生倾斜。
2.根据权利要求1所述的一种塑封元件芯片倾斜的判别方法,其特征在于:所述步骤B中定点扫描采用的是A-SCAN方式。
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