[发明专利]一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，应用于电子束曝光机中，也可用于工业自动化中的工件送取传输等领域。

背景技术

在制作半导体器件(如集成电路)时，需要对芯片进行曝光等操作，片夹在承片台上的定位精度将直接影响到曝光机的曝光质量，片夹定位的精度是曝光机高质量曝光图形的前提条件和根本保证。

目前公知的设备(如电子束曝光机)的承片台是靠限位开关确定片夹上片位置，无自动定位锁紧装置。在长期使用过程中，由于机械开关弹性受损易出现定位不准。而且，在长时间的曝光过程中，由于地基的震动及人为对台子碰撞都会使片夹在曝光过程中产生位移，影响了曝光质量。针对上述问题，本发明设计了一种片夹上片自动轴向定位锁紧装置，此外它还可用于工业自动化中的工件送取传输等领域。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，以保证光刻机中片夹的良好定位，及在光刻机长时间曝光过程中片夹无偏移和摆动。

为实现上述目的，本发明提供的光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，安装在一底座上，该底座的四个角上各设有一弯板，底座的上方开设有四个沉孔，该些沉孔分别与后述的压紧块相对应，各沉孔内安装有一压簧；

底座的两侧中间各设有一转轴，两个转轴的上部均套设有一转盘；

两个转盘上水平向地各设有一叉杆，两个叉杆的一端各套设在通过转盘延伸而出的转轴上，两个叉杆的该端通过铰链与各自的转盘连接，两个叉杆的另一端之间安装有一拉簧；

两个叉杆的两侧分别设置有第一连杆和第二连杆，该些第一连杆和第二连杆的一端通过铰链与各自的转盘连接；

该些第一连杆和第二连杆方向相反地另一端通过铰链各安装有压紧块，该些压紧块的端部各设有顶柱；

一上支板，设置于压紧块上方，上支板上开设有四个通孔；

一片夹，置于上支板的上方，该片夹对应上支板通孔的位置上开有不穿透的四个定位孔，顶柱穿过上支板的通孔进入片夹的定位孔内，将片夹顶靠在弯板上，使片夹不产生偏移和摆动；

一导锥，在安装有拉簧的两个叉杆一端之间的空隙平行移动，使两个叉杆张开或闭合，两个叉杆带动各自连接的转盘做相应的正向或反向转动，转盘带动该些第一连杆和第二连杆对压紧块拉或推；

该些压紧块的下方压在各自对应的压簧上，实现顶柱对片夹在轴向上的定位锁紧与放开；

所述的光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，其中，导锥为平面锥板。

所述的光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，其中，顶柱的顶端为椭圆形。

本发明的有益效果是：

本发明上片时能够无冲击、准确的将片夹定位锁紧，避免在曝光期间片夹偏移和摆动，下片时能平稳可靠地将片夹松开，保证了片夹从机械手到承片台的精确校正过渡，又保证了片夹在承片台上的轴向准确定位及锁紧，使片夹在曝光过程中不会因震动引起偏移和摆动。

附图说明

图1是本发明的左侧结构的侧示图

图2是本发明的俯视示意图

图3是本发明片夹轴向锁紧示意图

图4是本发明片夹定位孔示意图

图5是本发明上支板定位孔示意图

附图中主要组件符号说明：

顶柱1、9、101、109；压紧块2、10、102、110；铰链3、5、11、13、22、23、103、105、111、113、122、123；叉杆17、117；压簧6、21；转盘7、107；转轴8、108；第一连杆4、104；上支板15；底座16；拉簧18；导锥19；沉孔20、21；第二连杆12、112；弯板201、202；片夹203；通孔31、32、33、34；定位孔41、42、43、44。

具体实施方式

本发明运用了杠杆原理，使片夹在上片时能够从机械手到承片台的精确校正过渡，同时在轴向上又被自动的锁紧，实现曝光过程中片夹无偏移和摆动，下片时又能平稳的将片夹放开。片夹在曝光前和曝光后能被自动的定位锁紧和放开，保证了光刻机中片夹的良好定位，及在光刻机长时间曝光过程中片夹无偏移和摆动。