[发明专利]一种压电传感器及其加工方法

权利要求书

1.一种压电传感器，其特征在于：包括基底[1]、压电片[2]、层内连线线路[3]、传感器与外部的连接接口BNC插头[4]，其中，所述压电片[2]、层内连线线路[3]、传感器与外部的连接接口BNC插头[4]均设置在基底[1]上，其特征在于：所述压电传感器各部分均含有柔性线路[13]，而BNC插头[4]部分还含有刚性线路[14]。

2.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于：所述柔性线路[13]由第一层柔性线路和第二层柔性线路组成，其中，第一层柔性线路从外到内依次包含有屏蔽层[5]、胶粘剂层[6]和基底铜箔层[7]；BNC插头部分[4]的第二层柔性线路包含有电绝缘柔性材料层[8]、内部铜箔层[9]和低流量预浸层[10]；而层内连线线路部分[3]和压电片部分[2]的第二层柔性线路包含电绝缘柔性材料层[8]、内部铜箔层[9]、胶粘剂层[6]和最外部的屏蔽层[5]。

3.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于：所述刚性线路[14]主要包含FR-4刚性层[11]、基底铜箔层[7]和阻焊层[12]。

4.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于：所述连接接口BNC插头[4]包括a、b、c、d、e共5个接脚，其中，所述压电片[2]中上部通过层内连线线路3与BNC插头[4]的e脚相连，压电片[2]中下部与BNC插头[4]的a脚相连。

5.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于：所述BNC插头[4]正反面都设置有可直接焊接的焊盘，并由固体胶封装。

6.一种压电传感器的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1.根据监测要求将基体材料和热固胶切割成相同形状和大小，以提高加工时的随意性和一致性；

步骤2.在基体材料上经过曝光、显影、蚀刻、剥膜的过程制作出压电片的层内连接线路，并在相应的位置预置焊锡；

步骤3.压电片粘接在基底上，

将带有线路的基体材料平铺于平板上，再将热固胶对齐粘贴于基体材料上，并在对应于压电片的位置打孔；把压电片放置于热固胶的打孔位置，将基体材料对齐平铺并粘接上；

步骤4.压电片的固化，

熨平固定压电片两侧以及基体材料四周；将平板放入平板硫化机中进行热压固化，同时通过预置的焊锡将压电片和线路焊接好，水冷至常温后取出；

步骤5.BNC插头的封装，

将BNC插头直接焊接在平板上，再通过固体胶将表面硬化、封装。

7.根据权利要求6所述的压电传感器的加工方法，其特征在于：压电片再硫化机固化时，以固化压力2.5MPa，热压温度120℃条件热压120分钟进行固化。