[发明专利]基于高电子能量的覆盖误差测量方法和系统

权利要求书

1.一种用于评估覆盖的方法，包括：

获得或接收第一区域信息，所述第一区域信息表示检查物的第一层的第一区域；其中所述检查物进一步包含第二层，所述第二层包含第二区域；其中所述第二层是埋在所述第一层下面的；

引导原始电子束的电子与所述第一区域相互作用；

引导所述原始电子束的电子与所述第二区域相互作用；

响应于从所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域散射或反射的电子，产生检测信号；以及

基于所述检测信号和所述第一区域信息来决定所述第一区域的至少一个特征与所述第二区域的至少一个特征之间的至少一个空间关系。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：通过引导所述原始电子束的电子与所述第一区域相互作用而大体上不与所述第二区域相互作用，来获得第一区域信息；以及响应于从所述第一区域散射或反射的电子，产生检测信号。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，包括：产生响应于从所述第一区域散射或反射的二次电子的检测信号，同时忽略从所述检查物散射的背向散射电子。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：向所述检查物引导所述原始电子束，使得所述原始电子束的电子具有至少2000电子伏特的着陆能量。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：向所述检查物引导所述原始电子束，使得所述原始电子束的电子具有至少5000电子伏特的着陆能量。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：向所述检查物引导所述原始电子束，使得所述原始电子束的电子具有在2000电子伏特与5000电子伏特之间的范围内的着陆能量。

7.一种用于评估覆盖的方法，包括：

引导原始电子束的电子与检查物的第一层的第一区域相互作用；其中所述检查物进一步包含第二层，所述第二层包含第二区域；其中所述第二层是埋在所述第一层下面的；

引导所述原始电子束的高着陆能量电子与所述第二区域相互作用；

响应于从所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域散射或反射的电子，产生检测信号；以及

基于所述检测信号，来决定所述第一区域的至少一个特征与所述第二区域的至少一个特征之间的至少一个空间关系，其中所述第一区域的特征与所述第二层的最近的特征之间的预期距离小于所述第一区域的相邻特征之间的间距。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：响应于从所述第一区域散射或反射的二次电子，产生第一区域检测信号；以及响应于从所述第二区域散射或反射的背向散射电子，产生第二区域检测信号。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：接收基于散射光光学的覆盖测量结果；以及基于所述检测信号以及基于散射光的覆盖测量结果，来评估所述覆盖。

10.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：将关于所述至少一个空间关系的重叠信息发送至基于散射测量的覆盖设备。

11.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：将关于所述至少一个空间关系的重叠信息发送至基于衍射的覆盖设备。

12.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：向所述检查物引导所述原始电子束，使得所述原始电子束的电子具有至少2000电子伏特的着陆能量。

13.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：向所述检查物引导所述原始电子束，使得所述原始电子束的电子具有至少5000电子伏特的着陆能量。

14.如权利要求7所述的方法，其特征在于，包括：向所述检查物引导所述原始电子束，使得所述原始电子束的电子具有在2000电子伏特与5000电子伏特之间的范围内的着陆能量。

15.一种系统，包括：

处理器，所述处理器经布置以获得或接收第一区域信息，所述第一区域信息表示检查物的第一层的第一区域；其中所述检查物进一步包含第二层，所述第二层包含第二区域；其中所述第二层是埋在所述第一层下面的；

电子光学器件，所述电子光学器件经布置以引导原始电子束的电子与所述第一区域相互作用，并且所述电子光学器件经布置以引导所述原始电子束的电子与所述第二区域相互作用；

至少一个检测器，所述至少一个检测器经布置以响应于从所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域散射或反射的电子来产生检测信号；以及

其中所述处理器进一步经布置以基于所述检测信号和所述第一区域信息来决定所述第一区域的至少一个特征与所述第二区域的至少一个特征之间的至少一个空间关系。