[发明专利]一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式

权利要求书

1.一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式，由三层隔板组成，喷枪上端为进气口，下端为喷口，周围用金属板密闭，等离子体放电电极由射频电极和接地电极组成，喷枪等离子放电对进气均匀性要求严格，本发明设计的喷枪进气方式以降低气流冲击力为前提，使气体均匀进入喷枪放电缝隙，保证放电均匀稳定，其特征在于：进气方式由三层金属板组成，三层隔板不同位置开缝隙，形成缝隙交错间隔的格局，当工作气体进入喷枪后，先通过第一层隔板，第一层隔板两侧开狭缝，气流在第一层隔板的阻挡下，冲击力下降，并从两侧缝隙流出，第二层隔板中间开狭缝，从第一层隔板进入的工作气体被第二层隔板阻挡，形成涡流，冲击力再次下降，气流流速逐渐均匀，第三层隔板与第一层隔板一样，两侧开狭缝，气流被第三层隔板均匀分流到两侧流出进气系统，进入射频电极与接地电极之间的放电区域。

2.如权利1所述的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式，其特征在于：由三层不同位置开缝隙的金属隔板组成，第一层隔板和第三层隔板两侧各开0.5mm的缝隙，第二层隔板中间开1mm的缝隙，第一层和第二层隔板作用是降低气流冲击力，第三层隔板的作用是均匀分流工作气体。

3.如权利1所述的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式，其特征在于：三层隔板的制作简单，另外由于隔板采用金属材料，不会对放电工作气体造成有机物污染。