[发明专利]一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪

权利要求书

1.一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、金属接地电极、射频电源以及水冷管路。其特征在于：喷枪上端接进气口，下端为喷口，四周用金属壳体密封，喷枪金属壳体壁面内置金属水冷管路，射频电极被介质阻挡层包覆，接地电极接地，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应。在喷枪放电过程中，产生大量的热，聚集在喷枪腔内，表现为喷枪金属壳体温度较高，可达80-110℃，喷枪温度较高则会影响放电稳定性，同时缩短喷枪使用寿命，采用水冷降低金属壳体温度，即可有效降低喷枪壁面和腔内温度，又可使喷枪放电稳定，保证了喷枪处理效果。

2.如权利1所述的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪，其特征在于：喷枪金属壳体壁面内置六根水冷管路，水冷管路由直金属管组成，六根水冷管路分为两组，每三根为一组，两组水冷管中水流方向相反，这种水冷方式，结构简单，加工方便。

3.如权利1所述的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪，其特征在于：金属接地电极与金属壁面连接并保持接地。

4.如权利1所述的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪，其特征在于：采用射频放电产生等离子体，放电工作气体为氩气和氧气的混合气体，等离子体中的自由基束流由喷口喷出。