[发明专利]具有图案的太阳能电池片的制备方法有效
| 申请号: | 201110225588.7 | 申请日: | 2011-08-08 |
| 公开(公告)号: | CN102255000A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
| 发明(设计)人: | 王兆光;张黎明;刘鹏;姜言森;李玉花;徐振华;程亮;任现坤;张春艳 | 申请(专利权)人: | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 宋玉霞 |
| 地址: | 250103 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 图案 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种具有图案的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,通过丝网印刷工序把腐蚀性浆料印刷到太阳能电池硅片的氮化硅减反射层上,在温度为0℃-1000℃条件下,处理时间为10s-3600s,从而得到具有图案的太阳能电池片。
2.如权利要求1所述的具有图案的太阳能电池片的制备方法,所述的腐蚀性浆料为酸性腐蚀性浆料或碱性腐蚀性浆料,更优选为默克酸性腐蚀性浆料、默克碱性腐蚀性浆料。
3.如权利要求1所述的具有图案的太阳能电池片的制备方法,其详细步骤如下:
(1)将合格的硅片经过常规的清洗工艺,然后进行表面制绒;
(2)制绒后的硅片进行扩散工艺,制备太阳能电池片pn结;
(3)再进行边缘刻蚀、去磷硅玻璃;
(4)然后通过PECVD工艺,制备氮化硅减反射层;
(5)由带有图案的网版用丝网印刷的方式将腐蚀浆料印到太阳能电池片正面,在温度为0℃-1000℃条件下,处理时间为10s-3600s;
(6)腐蚀后的硅片经过纯水喷淋、超声清洗、稀盐酸溶液中超声清洗、循环纯水漂洗、纯水喷淋后,再烘干;
(7)通过印刷电极网版丝网印刷完成正负电极、背面电场的制备, 通过烧结形成欧姆接触;
(8)最后分检,完成带有图案太阳能电池片的制备。
4.根据权利要求1或3所述的具有图案的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述的温度为20℃-500℃。
5.根据权利要求1或3所述的具有图案的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述的处理时间为10s-30min。
6.根据权利要求3所述的具有图案的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述的腐蚀性浆料为酸性腐蚀性浆料或碱性腐蚀性浆料,更优选为默克酸性腐蚀性浆料、默克碱性腐蚀性浆料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





