[发明专利]单元基板的检查系统以及检查方法有效
| 申请号: | 201110222935.0 | 申请日: | 2011-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN102411005A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
| 发明(设计)人: | 宫内孝;宫崎健太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G02B27/22 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌;陈萍 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单元 检查 系统 以及 方法 | ||
1.一种单元基板的检查系统,该单元基板与双凸透镜粘合而使用于全景图像方式的三维图像显示装置,该单元基板具有排列了多个区域的显示区域,该多个区域分别显示将多个视差图像分别分割后的视差图像信息,
上述单元基板的检查系统具备:
信号产生装置,将使检查对象的上述单元基板显示检查用图像的显示信号发送到上述单元基板;
摄像装置,对接收了上述显示信号的上述单元基板显示的上述检查用图像进行摄像;
视差图像生成装置,通过将所摄像的上述检查用图像的上述视差图像信息按每个视差图像排列,由此生成对使上述单元基板和上述双凸透镜粘合而得到的上述视差图像进行了预测的预测视差图像;以及
界面装置,显示上述预测视差图像。
2.根据权利要求1所述的单元基板的检查系统,其特征在于,
仅对于从上述多个视差图像中选择的1个视差图像,使上述单元基板显示上述检查图像。
3.一种单元基板的检查系统,该单元基板与双凸透镜粘合而使用于全景图像方式的三维图像显示装置,该单元基板具有排列了多个区域的显示区域,该多个区域分别显示将多个视差图像分别分割后的视差图像信息,
上述单元基板的检查系统具备:
信号产生装置,将使检查对象的上述单元基板显示检查用图像的显示信号发送到上述单元基板;
摄像装置,对接收了上述显示信号的上述单元基板显示的上述检查用图像进行摄像;
视差图像生成装置,通过将所摄像的上述检查用图像的上述视差图像信息按每个视差图像排列,由此生成对使上述单元基板和上述双凸透镜粘合而得到的上述视差图像进行了预测的预测视差图像;以及
判断装置,解析上述预测视差图像而判断上述单元基板有无缺陷。
4.一种单元基板的检查方法,该单元基板与双凸透镜粘合而使用于全景图像方式的三维图像显示装置,该单元基板具有排列了多个区域的显示区域,该多个区域分别显示将多个视差图像分别分割后的视差图像信息,
该单元基板的检查方法包括:
使检查对象的上述单元基板显示检查用图像;
对上述单元基板显示的上述检查用图像进行摄像;
通过将所摄像的上述检查用图像的上述视差图像信息按每个视差图像排列,由此生成对使上述单元基板和上述双凸透镜粘合而得到的上述视差图像进行了预测的预测视差图像;以及
解析上述预测视差图像而判断上述单元基板有无缺陷。
5.根据权利要求4所述的单元基板的检查方法,其特征在于,
仅对于从上述多个视差图像中选择的1个视差图像,使上述单元基板显示上述检查图像。
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