[发明专利]电熔丝结构无效
| 申请号: | 201110222248.9 | 申请日: | 2011-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN102543950A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
| 发明(设计)人: | 陈晞白 | 申请(专利权)人: | 联发科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
| 代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 于淼;张一军 |
| 地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电熔丝 结构 | ||
技术领域
本发明是属于电熔丝的领域。特别是指一种过孔式(via-type)的电熔丝结构,在熔丝烧断程序时,具有较佳良率以及可靠度。
背景技术
电熔丝(electrical fuses,e-fuses)通常使用于存储器或可编程熔丝阵列的冗余电路,提供可编程能力。目前已存在有许多种形式的电熔丝,其通常包含有可被烧熔的连结部,及连接两终端部分。其中一种电熔丝可包含有介层插塞,介层插塞连接金属层阴极以及金属层阳极。利用电流的流通,该电熔丝可被烧断。
可编程熔丝阵列可与电子电路相连接,电子电路可能需要调整以提供适当的操作。根据每一个位于阵列中的电熔丝是否被烧断,可相对应地提供1或0的逻辑信号。而存在于可编程熔丝阵列的电熔丝只可被程式化一次。在电子电路的结构设计中,电熔丝是连接于电子元件间,利用场效应管提供电流,以烧断电熔丝。
然而,过去经过熔丝烧断程序的可编程熔丝阵列具较低的良率以及低可靠度。因此,有必要提供一种改良式的电熔丝结构,用以解决上述现有技术的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种改良式的电熔丝结构,用以增进电熔丝在烧断程序的良率以及可靠度。
为达到上述目的,根据本发明的较佳实施方式,乃提供一种电熔丝结构,其包含有第一金属条,其具有第一宽度W1,以及第一长度L1;第二金属条,其具有第二宽度W2,以及第二长度L2;以及至少过孔元件,其具有过孔宽度W0,其中过孔元件是将第一金属条的一端电连接至第二金属条的一端,又其中W1<5W0。
根据本发明的另一较佳实施方式,其提供一种电熔丝结构,其包含有第一金属条,其具有第一宽度W1,以及第一长度L1;第二金属条,其具有第二宽度W2,以及第二长度L2;连接垫,设于第一金属条与第二金属条之间;第一过孔元件,将第一金属条的一端电连接至连接垫;以及第二过孔元件,将第二金属条的一端电连接至连接垫,其中第一过孔元件及第二过孔元件具有过孔宽度W0,其中W1<5W0。
本发明的改良式的电熔丝结构可强化熔丝烧断过程中的电迁移现象,明显改善熔丝烧断过程的良率以及可靠度。
附图说明
图1所绘示的是根据本发明的较佳实施方式的一种可编程电熔丝的俯视配置图。
图2所绘示的是沿着图1切线I-I’的截面图。
图3所绘示的是根据本发明的另一较佳实施方式的一种电熔丝结构。
图4所绘示的是根据本发明的另一较佳实施方式的一种电熔丝结构。
图5所绘示的是根据本发明的另一较佳实施方式的一种电熔丝结构的透视图。
图6所绘示的是根据本发明的另一较佳实施方式的一种电熔丝结构的透视图。
图7所绘示的是根据本发明的另一较佳实施方式的一种电熔丝结构的透视图。
具体实施方式
在说明书及权利要求书当中使用了某些词汇来称呼特定的元件。本领域的技术人员应可理解,硬件制造商可能会用不同的名词来称呼同一个元件。本说明书及权利要求书并不以名称的差异来作为区分元件的方式,而是以元件在功能上的差异来作为区分的准则。在通篇说明书及权利要求书当中所提及的“包含”是开放式的用语,故应解释成“包含但不限定于”。此外,“耦接”一词在此是包含任何直接及间接的电气连接手段。因此,若文中描述第一装置耦接于第二装置,则代表第一装置可直接电气连接于第二装置,或通过其它装置或连接手段间接地电气连接到第二装置。
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