[发明专利]MEMS振荡器

权利要求书

1.一种压阻MEMS振荡器，包括：

谐振器本体(20)，包括谐振器质量块部分、压阻传感器部分和至少一个锚定点；

与谐振器本体相邻的第一和第二驱动电极(30)，用于提供致动信号；

至少第一感测电极(24)，与相应锚定点(22)相连；以及

控制电路(500)，用于控制施加至电极的电压，并且用于处理在第一感测电极(24)处测量的信号以得出振荡器输出信号，

其特征在于：所述控制电路(500)适用于控制施加至所述电极(30，24)的电压，并且处理在所述感测电极(24)处测量的信号，使得通过对所述第一和第二驱动电极与所述感测电极之间的电压耦合进行平衡，从一个驱动电极(30)到所述感测电极(24)的馈通AC电流被从另一个驱动电极(30)到所述感测电极(24)的馈通AC电流至少部分地偏移，其中所述控制电路适用于：

驱动DC偏置电流从第一感测电极通过谐振器本体至地，并且从感测电极电压得出振荡器输出信号，向驱动电极施加相等和相反的dc电压，并且向驱动电极施加相反极性的ac电压；和/或

驱动DC偏置电流从第一感测电极通过谐振器本体至地，并且从第一感测电极和第二感测电极之间的电压差得出振荡器输出信号，其中在第一感测电极处将DC偏置电流提供到谐振器本体中，在第二感测电极处从所述谐振器本体抽取DC偏置电流。

2.根据权利要求1所述的振荡器，其中所述控制电路(500)适用于向驱动电极(30)施加相等和相反的电压。

3.根据权利要求1所述的振荡器，其中所述控制电路(500)适用于向驱动电极施加相反符号的电压，所述电压具有相对于相应驱动电极和感测电极(24)之间的电容而被加权的AC分量。

4.根据权利要求2或3所述的振荡器，其中所述控制电路(500)适用于提供通过压阻传感器部分的DC电流(Id)，并且适用于测量感测电极(24)处的信号。

5.根据权利要求1所述的振荡器，其中提供第一感测电极(24)和第二感测电极(23)，并且其中所述控制电路(500)适用于向驱动电极施加相等的电压，并且适用于测量所述两个感测电极(24，23)之间的差分信号。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的振荡器，其中提供第一感测电极(24)和第二感测电极(23)，并且其中所述控制电路(500)适用于在两个感测电极之间提供DC电流，并且适用于测量两个感测电极(24，23)之间的差分信号。

7.根据任一前述权利要求所述的振荡器，其中：

所述谐振器本体(20)包括伸长结构，所述伸长结构具有在第一和第二末端区域(205)之间的一对平行连接臂(20a，20b)，其中所述连接臂(20a，20b)各具有锚定点(22，21)；

第一和第二驱动电极(30)分别与第一和第二末端区域(205)相邻，用于提供致动信号；

设置第一感测电极(24)和第二感测电极(23)，所述第一感测电极和第二感测电极分别与第一和第二连接臂的锚定点(22，21)相连。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的振荡器，所述振荡器包括环形物，所述环形物具有在锚定点(615)之间的所述环形物的内部部分和/或外部部分处限定的至少两个压阻部分(600)，感测电极与每一个锚定点(615)相连，其中至少第一和第二驱动电极(630)与所述环形物的内轮缘和/或外轮缘相邻，用于提供致动信号；以及

至少一个锚定点配置有与其相连的感测电极。