[发明专利]一种感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置及方法

权利要求书

1.一种感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：包括感应电源(6)以及与感应电源(6)相连的冷水机(7)和感应线圈(5)，该装置还包括一“n”型的具有相连通的两个腔体的沉积槽(4)，在所述沉积槽(4)的两个腔体内分别设置有与电源(13)相连接的电极(11、12)，其中一个腔体设置在感应线圈(5)内，夹持试样的电极(11)位于感应线圈内，且在所述沉积槽(4)上还设置有密封盖(14)，沉积槽(4)还通过出液管(10)、冷却管(9)、循环泵(2)、回液管(3)与溶液槽(1)相连形成闭合回路。

2.根据权利要求1所述的感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：所述的夹持试样的电极(11)位于感应线圈(5)的中央。

3.根据权利要求1所述的感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：所述的电源(13)采用直流稳压/稳流电源或脉冲直流稳压/稳流电源。

4.根据权利要求1所述的感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：所述的沉积槽(4)采用石英、耐200℃以上的硅酸盐玻璃或聚四氟乙烯制成。

5.根据权利要求1所述的感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：所述的冷水机(7)还通过连接管(8)与冷却管(9)相连形成回路。

6.根据权利要求1所述的感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：所述的密封盖(14)采用聚四氟乙烯制成。

7.一种采用权利要求1所述的旋感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置制备涂层或薄膜的方法，其特征在于：

1)首先，开启冷水机(7)电源，对感应电源(6)、感应线圈(5)及冷却管(9)进行冷却；

2)然后，根据所需制备的涂层或薄膜的组成及相关参数将配制好的待沉积溶液放入溶液槽(1)中；

3)打开沉积槽(4)，将试样夹持在位于感应线圈内的电极(11)上，然后盖好密封盖(14)；

4)打开循环泵(2)电源，使待沉积溶液在沉积槽(4)、出液管(11)、冷却管(9)、溶液槽(1)、回液管(3)中不断流动形成回路；

5)开启电源(13)，并调节电流、电压或脉冲电源的脉冲频率、占空比至所需制备涂层或薄膜的预订数值；

6)开启感应电源(6)，设定所需制备涂层或薄膜的振荡电流和沉积时间，进行涂层或薄膜沉积；

7)待达到所需沉积时间后，同时关闭感应电源(6)和电源(13)，使沉积过程停止，然后关闭循环泵(2)，取出试样、超声清洗、干燥，即得到制备了涂层或薄膜的基体试样。