[发明专利]一种微螺旋线圈及其制作方法

权利要求书

1.一种微螺旋线圈，其特征是在圆柱状芯材(1)的表面由内向外依次设置为内导热绝 缘层(2)，螺旋线圈层(3)和外导热绝缘层(4)。

2.根据权利要求1所述的微螺旋线圈，其特征是所述圆柱状芯材(1)采用磁性或非磁性 材料。

3.根据权利要求1所述的微螺旋线圈，其特征是内导热绝缘层(2)和外导热绝缘层(3)为 导热绝缘材料层。

4.根据权利要求1所述的微螺旋线圈，其特征是所述螺旋线圈层(3)为单层螺旋线圈 或是多层螺旋线圈的叠加。

5.一种权利要求1所述的微螺旋线圈的制作方法，其特征是按如下工艺制作：

a、在圆柱状芯材(1)的表面采用真空镀膜、或电子束镀膜、或磁控溅射镀膜、或脉冲激 光沉积镀膜的方式制作内导热绝缘层(2)，或采用导热绝缘固化胶进行涂覆固化制作内导热 绝缘层(2)；

b、在所述内导热绝缘层(2)的外表面采用真空镀膜、或电子束镀膜、或磁控溅射镀膜、 或脉冲激光沉积镀膜的方式形成以螺旋线圈层(3)的材料为材质的金属薄膜；在所述金属薄膜 的表面涂覆光刻胶，并进行甩胶、烘干处理；

c、按螺旋线圈层(3)的螺旋线圈轨迹对光刻胶进行曝光、显影和定影处理，使金属薄膜 按螺旋线圈轨迹得到保护，其余部分暴露；再对暴露的金属薄膜采用化学或物理方法进行刻 蚀，形成螺旋线圈层(3)；去除螺旋线圈层(3)上残留的光刻胶，经清洗和烘干处理；

d、在螺旋线圈层(3)上采用真空镀膜、或电子束镀膜、或磁控溅射镀膜或脉冲激光沉积 镀膜的方式形成外导热绝缘层(4)，以所述外导热绝缘层(4)将所述螺旋线圈层(3)覆盖即成。

6.根据权利要求5所述的微螺旋线圈的制作方法，其特征是重复步骤b-c形成螺旋线 圈层(3)的多层叠加结构。