[发明专利]保持具单元、划线头及划线装置

说明书

本发明是申请号为200910150642.9，申请日2009年6月23日，名为“保持具接头、保持具单元、划线头及划线装置”的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于对脆性材料基板形成划线的划线装置与其划线头、保持具单元、保持具接头。

背景技术

以往，在液晶显示面板或液晶投影机基板等平面显示器等，是母玻璃基板在制造过程被贴合后被分断为特定大小的单个面板。于此母玻璃基板等的脆性材料基板的分断有划线步骤与折断步骤，在划线步骤是使用划线装置。

图1为显示公开于专利文献1的划线装置的立体图。此划线装置100是移动台101沿一对的导引轨道102a、102b在y轴方向被保持为可移动。滚珠螺杆103是与移动台101螺合。滚珠螺杆103是由马达104的驱动而旋转，使移动台101沿导引轨道102a、102b在y轴方向移动。在移动台101的上面设有马达105。马达105是使平台106在xy平面旋转以定位于既定角度。脆性材料基板107是载置于此平台106上，受未图示的真空吸引手段等保持。在划线装置1的上部设有拍摄脆性材料基板107的对准标记的2台的CCD摄影机108。

在划线装置100沿x轴方向以支柱111a、111b架设有桥110跨越移动台101与其上部的平台106。划线头112可沿设于桥110的导引部113于X轴方向移动。马达114是使划线头112沿X轴方向移动。

在划线装置的划线头112通过保持具接头120安装有晶片保持具(以下仅称为「保持具」)10。图2A-2C为显示根据专利文献1的保持具的图，图3为其立体图。如此多个图所示，保持具10是大致圆筒形的构件，其一端大致正方形状的平坦部11a、11b皆被设为平行于中心轴。保持具10于此平坦部之间具有沿中心轴的缺口12，在平坦部11a、11b的下端具有垂直于其面的方向的销槽13。划线轮(亦称「刀轮」)14具有例如轮径2.5mm、厚度0.5mm程度的圆板状的形状，圆周部分的剖面形成为圆锥形，在中心具有贯通孔的圆盘状或环状。划线轮14是通过使被插入销槽13的销15贯通中心的贯通孔保持为可旋转。在将销15插入销槽13保持划线轮14后，即使需要划线轮的交换时亦不取下划线轮而与保持具一起交换。另外，保持具10的另一端设有定位用的安装部16。安装部16是切除保持具10而形成，具有倾斜部16a及平坦部16b。平坦部16b是与保持具的轴平行，且与下方的平坦部11a、11b为垂直。保持具10是其上部的安装部16为以磁性体金属构成。

划线头112是在其内部设有使保持具10的升降动作为可能的升降部，例如使用空气压控制的气压缸或利用线性马达的电动升降部等。划线装置是由升降部将划线轮14以适当的荷重压接于脆性材料基板的表面上转动，形成划线。

图4A-4C为显示以往的保持具接头120的图，图5为显示将保持具10插入此保持具接头120的状态的立体图。如此多个图所示，保持具接头120在上部具有轴承121a、121b，下方为保持保持具10的保持部122。在保持具接头120的保持部122，如图示形成有圆形的开口123，其内侧埋设有磁石124。又，在此开口123的内部于从中心轴离开的位置设置与中心轴垂直的平行销125。平行销125是圆柱的构件，接触保持具10的倾斜部16a以定位保持具10。将此保持具10安装于保持具接头120时，是如图5所示将保持具10从其安装部16插入保持具接头120的开口123。如此保持具10的前端部受磁石124吸引，且倾斜部16a接触平行销125而被定位固定。

图6为显示于保持具接头120安装有保持具10的状态的局部剖面图，图7为显示安装有保持具接头120的于划线头112的一部的图。由于保持具10仅受磁石124吸引，故安装极容易，被固定于特定的位置。更换时是拉保持具10以卸下。

【专利文献1】国际公开WO 2007/063979

以往的保持具10是安装于保持具接头120构成保持具单元130。在将保持具单元130安装于划线头112划线时，是将划线轮按压于脆性材料基板并使其移动。此时若划线弯曲，则在保持保持具的保持具接头120亦有扭力作用。因此一旦形成弯曲的划线后，会有即使直线划线的状况划线的位置精度亦会低落的缺点。又，由于保持具是压入保持具接头120的开口123，故难以卸下。特别是在使用机械手臂等自动工具交换器交换保持具时，有保持具的卸下变困难的缺点。

发明内容