[发明专利]光波导生物化学传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种光波导生物化学传感器，其特征在于，包括：棱镜、一硅基底层，嵌入在所述硅基底层中的多孔硅衬底层和多孔硅光波导层，所述多孔硅光波导层位于所述多孔硅衬底层外层，在所述棱镜和所述多孔硅光波导层之间设置有空气隙。

2.如权利要求1所述的光波导生物化学传感器，其特征在于，所述多孔硅光波导层的多孔率小于所述多孔硅衬底层的多孔率。

3.一种光波导特征模式检测系统，其特征在于，包括：激光光源、其发出的准单色光经一起偏器后射入一设置在角度测量平台上的光波导生物化学传感器，与该光波导生物化学传感器作用，反射出部分光线，一光强探测器监测在所述光波导生物化学传感器反射的光线强度后，记录在一光强/角度关系记录仪；

其中，所述光波导生物化学传感器进一步包括：棱镜、一硅基底层，嵌入在所述硅基底层中的多孔硅衬底层和多孔硅光波导层，所述多孔硅光波导层位于所述多孔硅衬底层外层，在所述棱镜和所述多孔硅光波导层之间设置有空气隙。

4.如权利要求3所述的光波导特征模式检测系统，其特征在于，所述角度测量平台进一步包括内侧圆盘和外侧圆盘，所述外侧圆盘的角速度为所述内侧圆盘角速度的两倍。

5.如权利要求3所述的光波导特征模式检测系统，其特征在于，所述所述多孔硅光波导层的多孔率小于所述多孔硅衬底层的多孔率。

6.一种光波导生物化学传感器的制备方法，其特征在于，包括：

一基于掺杂硅片的多孔硅光波导样品制备步骤；

一表面特性修饰步骤；以及

一光波导特征模式监测系统的搭建步骤。

7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述制备步骤进一步包括：

7．1：待腐蚀硅片的准备；

7.2：使用电化学腐蚀制备多孔硅光波导结构；

7．3：腐蚀后处理。

8.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述表面特性修饰步骤中进一步包括：

8.1:表面氧化处理；

8.2:表面特异性探针修饰。

9.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，

所述步骤7.1进一步包括：用硅片刀将掺杂硅片切割之后对其进行清洗，并晾干；

所述步骤7.2中使用的腐蚀溶液为氢氟酸溶液；

所述步骤7.3中腐蚀结束后移除腐蚀参与溶液，清洗腐蚀槽，冲洗多孔硅光波导样品。

10.如权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤8.1中氧化处理包括干法氧化或湿法氧化。